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하나의 중심축을 가지고, 상기 중심축을 따라 연장된 탄성체에 의하여 회전 운동 및 평행 이동이 가능하도록 기판에 지지된 평판과, 상기 평판의 중심측을 경계로 상기 평판의 양측에 최소한 하나씩 배치된 구동체 및 상기 평판의 상부면에 형성된 덮개층을 포함하고, 상기 탄성체가 연결된 상기 평판의 양 측면에 요철부가 형성되고, 상기 구동체의 단부에 상기 평판의 상기 요철부가 형성된 측면을 향하여 연장된 구동체의 연결부재가 형성되고, 상기 구동체의 상기 연결부재가 상기 평판의 상기 요철부와 상기 덮개층에 의하여 형성되는 공간 내에 비결합 상태로 배치된 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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제1항에 있어서, 상기 구동체가 상기 기판에 고정된 캔티레버 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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제1항에 있어서, 상기 구동체가 상기 평판의 양측에 각각 한 쌍씩 배치된 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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4
제1항에 있어서, 상기 구동체가 상기 평판을 회전시키거나 평행이동 시키는 구동력을 상기 평판에 작용하는 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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5
제4항에 있어서, 상기 평판이 회전 운동 또는 평행 이동을 할 때 상기 탄성체에 굽힘력, 비틀림력, 장력이 인가되어 변형되고, 상기 구동체의 구동력이 상기 평판에 인가되지 않으면 상기 탄성체는 상기 평판을 원래의 위치로 복원시키는 복원력을 작용하는 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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제1항에 있어서, 상기 덮개층이 상기 평판의 하부면에도 형성된 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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7
제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 덮개층이 상기 평판과 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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8
제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 덮개층이 상기 평판과 별개의 층으로 형성된 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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9
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동체가 정전기력, 열팽창력, 자기력 또는 압전력 중 어느 하나에 의하여 구동되는 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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10
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 평판 및 상기 덮개층이 4각형, 원형 또는 다각형 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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11
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 덮개층이 적어도 상기 평판의 상기 요철부를 덮도록 상기 평판의 일부 영역에만 형성된 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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12
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 평판 또는 상기 덮개층의 표면에 반사층이 형성된 것을 특징으로 하는 평판 구동 장치
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