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전기장 센서

  • 기술번호 : KST2015118797
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 근접 전기장을 비교란적으로 측정할 수 있는 전기장 센서에 관해 개시하고 있다. 본 발명의 전기장 센서는, 진동하는 전기장에 의해 유발되는 역학적 진동을 생성하되, 상기 전기장을 교란하는 금속성분은 포함하지 않는 진동 생성수단과; 상기 전기장의 교란을 야기시키지 않을 정도의 장소에 이격되게 위치하며, 상기 역학적 진동을 전달받아 이에 비례하는 신호를 발생시키는 신호 발생수단과; 상기 진동 생성수단의 역학적 진동을 상기 신호 발생수단에 전달하는 전달수단을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 전기장 센서에 의하면, 전기장 센서에 의해 야기되는 측정 전기장의 교란을 최소화할 수 있을 뿐 아니라, 연속적인 rf 전기장의 크기와 방향을 모두 측정할 수 있다. 따라서, 플라즈마 내의 전기장 측정에 적합하다.
Int. CL G01R 31/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019970034824 (1997.07.25)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0216885-0000 (1999.06.02)
공개번호/일자 10-1999-0011643 (1999.02.18) 문서열기
공고번호/일자 (19990901) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.07.25)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이순칠 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정은섭 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주)
2 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1997.07.25 수리 (Accepted) 1-1-1997-0111435-03
2 특허출원서
Patent Application
1997.07.25 수리 (Accepted) 1-1-1997-0111434-57
3 출원심사청구서
Request for Examination
1997.07.25 수리 (Accepted) 1-1-1997-0111436-48
4 대리인변경신고서
Agent change Notification
1998.04.15 수리 (Accepted) 1-1-1997-0111437-94
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1999.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0073413-33
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
10 출원인코드정정신청서
Request for Correction of Applicant Code
1999.04.06 수리 (Accepted) 1-1-1999-5139965-31
11 의견서
Written Opinion
1999.04.27 수리 (Accepted) 1-1-1999-5164602-60
12 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1999.04.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5164603-16
13 등록사정서
Decision to grant
1999.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0172064-46
14 FD제출서
FD Submission
1999.06.04 수리 (Accepted) 2-1-1999-5097165-37
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

진동하는 전기장에 의해 유발되는 역학적 진동을 생성하되, 상기 전기장의 교란성분은 포함하지 않는 진동 생성수단과;

상기 전기장의 교란을 야기시키지 않을 정도의 장소에 이격되게 위치하며, 상기 역학적 진동을 전달받아 이에 비례하는 신호를 발생시키는 신호 발생수단과;

상기 진동 생성수단의 역학적 진동을 상기 신호 발생수단에 전달하는 전달수단을 구비한 전기장 센서

2 2

제1항에 있어서, 상기 교란성분은 금속이며,

상기 진동 생성수단 및 신호 발생수단은 모두 압전 공명소자이며,

상기 전달수단은 상기 역학적 진동을 기계적으로 전달하는 것을 특징으로 하는 전기장 센서

3 3

제2항에 있어서,

상기 진동 생성수단은 상기 전기장의 주파수와 동일한 고유진동수를 가지는 제1 수정판이며;

상기 신호 발생수단은 양단에 전극이 부착되어 있는, 상기 전기장의 주파수와 동일한 고유진동수의 제2 수정판이며;

상기 전달수단은, 그 일단이 상기 제1 수정판의 일면에 부착되고, 그 타단이 상기 제2 수정판의 전극들 중 어느 하나에 부착된 수정막대인 것을 특징으로 하는 전기장 센서

4 4

제3항에 있어서, 상기 제1 수정판은 온도계수가 상온에서 0인, AT-커팅된 수정판인 것을 특징으로 하는 전기장 센서

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US06107791 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US6107791 US 미국 DOCDBFAMILY
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