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다양한 각도에서 적용가능한 평판 진동형 히트파이프 및 제작방법

  • 기술번호 : KST2015119016
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 휴대전화, 노트북 등과 같은 소형 전자기기에서 전력을 사용하지 않고 고효율의 열전달시스템을 제공할 수 있는 다양한 각도에서 적용 가능한 평판 진동형 히트파이프(Flat plate PHP)에 관한 발명이다. 평판 진동형 히트파이프(Flat plate PHP)에서 단일-턴 구간(single turn loop), 복수-턴 구간(multi-turn loop)로 구성했을 경우와 단일직경관(single diameter channel), 이중직경관(dual-diameter channels)으로 구성했을 경우의 열성능을 평가하고, 진동형 히트파이프의 설치각도에 구애받지 않는 최적의 성능을 갖는 다양한 설치각도에서 적용가능한 평판 진동형 히트파이프를 제공하고자 함이다.상기 목적을 이루기 위한 본 발명의 다양한 설치각도에서 적용가능한 평판 진동형 히트파이프는 긴 직사각형 형상의 실리콘 웨이퍼 하판; 상기 실리콘 웨이퍼 하판의 상면에서 일정한 깊이를 가지고 상기 실리콘 웨이퍼 하판의 길이방향을 따라 직선의 형태로 형성된 채널을 포함하고, 상기 채널은 실리콘 웨이퍼 하판의 양 끝단에서 굽어져 연결되는 폐루프(closed loop)를 이루는 모세관; 상기 실리콘 웨이퍼 하판의 위에 결합되어 모세관을 밀폐시키는 웨이퍼 상판; 상기 모세관 내부에 충진되는 작동유체;를 포함하되 상기 모세관은 폭이 서로 다른 한 쌍의 채널을 포함하는 이중직경관과 폭이 서로 같은 한 쌍의 채널을 포함하는 단일직경관의 조합으로 이루어진 것이 특징이다.
Int. CL H01L 23/427 (2006.01) H05K 7/20 (2006.01)
CPC H05K 7/20336(2013.01) H05K 7/20336(2013.01)
출원번호/일자 1020150009528 (2015.01.20)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1553547-0000 (2015.09.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150917) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.01.20)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성진 대한민국 대전광역시 유성구
2 권기환 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 안재열 대한민국 대전광역시 서구 둔산서로 **(둔산동) *층(새늘국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0060285-01
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0064099-08
3 [우선권주장 취하]취하(포기)서
[Withdrawal of Priority Claim] Request for Withdrawal (Abandonment)
2015.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-0212306-48
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.03.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0212915-33
5 보정요구서
Request for Amendment
2015.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0053479-80
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2015-0249520-68
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.05.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0300646-90
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2015-0526504-13
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0526437-41
10 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2015.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0644614-61
11 등록결정서
Decision to grant
2015.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0606521-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
긴 직사각형 형상의 하판; 상기 하판의 상면에서 일정한 깊이를 가지고 상기 하판의 길이방향을 따라 직선의 형태로 형성된 채널을 포함하고, 상기 채널은 하판의 양 끝단에서 굽어져 연결되는 폐루프(closed loop)를 이루는 모세관; 상기 하판의 위에 결합되어 모세관을 밀폐시키는 상판; 상기 모세관 내부에 충진되는 작동유체;를 포함하되상기 모세관은 폭이 서로 다른 한 쌍의 채널을 포함하는 이중직경관과 폭이 서로 같은 한 쌍의 채널을 포함하는 단일직경관의 조합으로 이루어지는 평판 진동형 히트파이프에 있어서,상기 평판 진동형 히트파이프의 성능은 다음과 같은 성능지수(MPHP)로 표현되어지되, 상기 성능지수(MPHP)가 2×105 W/m2 이상의 값을 갖는 것을 특징으로 하는 다양한 각도에서 적용 가능한 평판 진동형 히트파이프
2 2
제1항에 있어서,상기 이중직경관의 두 직경은 다음과 같은 수학식을 충족시키는 것을 특징으로 하는 다양한 각도에서 적용가능한 평판 진동형 히트파이프
3 3
제 1항에 있어서,상기 모세관의 60% 이상은 이중직경관으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다양한 각도에서 적용가능한 평판 진동형 히트파이프
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
미세전자기술시스템(MEMS) 공정을 이용하여 평판 진동형 히트파이프를 제작하는 방법에 있어서,(a) 긴 직사각형 형상의 실리콘 웨이퍼의 상부에 포토레지스트(photoresist)를 증착(deposition)하는 단계;(b) 상기 실리콘 웨이퍼의 양 끝단에서 굽어진 형상의 폐루프(closed loop)를 이루는 모세관의 형상으로 포토레지스트를 제거하여 패터닝(patterning)하는 단계;(c) 식각(etching)하여 상기 실리콘 웨이퍼 하판의 상부에 모세관을 형성하는 단계;(d) 상기 실리콘 웨이퍼에 남아 있는 포토레지스트를 제거하는 단계;(e) 상기 실리콘 웨이퍼의 상부에 웨이퍼 상판을 본딩(bonding) 결합하는 단계;를 포함하되, 상기 모세관은 폭이 서로 다른 한 쌍의 채널을 포함하는 이중직경관과 폭이 서로 같은 한 쌍의 채널을 포함하는 단일직경관의 조합으로 이루어지도록 패터닝하고,상기 평판 진동형 히트파이프의 성능은 다음과 같은 성능지수(MPHP)로 표현되되, 상기 성능지수(MPHP)가 2×105 W/m2 이상의 값을 갖는 것을 특징으로 하는 다양한 각도에서 적용 가능한 평판 진동형 히트파이프 제작방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 이중직경관의 두 직경은 다음과 같은 수학식을 충족시키는 것을 특징으로 하는 다양한 각도에서 적용가능한 평판 진동형 히트파이프 제작방법
8 8
제 6항에 있어서,상기 모세관의 60% 이상은 이중직경관으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다양한 각도에서 적용가능한 평판 진동형 히트파이프 제작방법
9 9
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10 10
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1 KR101508126 KR 대한민국 FAMILY
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4 WO2016060350 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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