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Y축 슬라이더에 결합되어 갠트리 스테이지와, 상기 갠트리 스테이지에 결합되어 X축 슬라이딩을 구현하는 X축 슬라이더를 포함하여 구성되는 이송 스테이지에 있어서,상기 갠트리 스테이지 양단에 구비되어 Y축 슬라이더와 연결되는 것으로, 몸체와 회전부로 구비되며, 상기 회전부는 몸체에 판스프링으로 연결되어 회전변위에 대응하는 유연부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 유연부는,상기 회전부가 몸체에 다수의 판스프링으로 연결되며, 대칭적으로 구성되는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 유연부는,상기 판스프링의 길이를 증가시키거나, 개수를 조절하여 Z축 방향 회전 변위를 증가시키는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 유연부는,판스프링의 두께를 늘려 Z축 회전 강성을 제외한 5자유도의 강성을 높이는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 유연부는,상기 몸체, 회전부, 판스프링이 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 이송 스테이지는,위치 측정을 위한 레이저 간섭계 또는 선형 엔코더를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 이송 스테이지는,베이스프레임을 구비하고, 상기 베이스프레임에 구비된 Y축 가이드 레일에 따라 상기 Y축 슬라이더가 이동하는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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제 7항에 있어서, 상기 Y축 슬라이더는,상기 가이드 레일과 공기 베어링 또는 LM 가이드에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 갠트리 스테이지 한쪽에 구비되는 상기 유연부는 몸체 양단으로 LM 가이드를 더 포함하여 구성되며, 상기 LM 가이드에 의해 X축 병진 모션을 허용하는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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제 1항에 있어서, 상기 유연부는,상기 회전부에 결합홈을 구비하고 상기 결합홈을 통해 상기 갠트리 스테이지와 고정되는 것을 특징으로 하는 유연기구를 이용한 회전 오차 보상 스테이지
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