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미세전극면에 도데실 설페이트 음이온(DS-)이 도핑된 폴리피롤을 피착하고 그 폴리피롤에 양이온(Na+,K+)을 침투시켜 염을 형성한 구성이며, 습도감응성이 104~106Ω의 영역에서 나타나고 감습속도가 수십초 내지 수분이내가 되는 것임을 특징으로 하는 고분자 습도센서
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분자량이 큰 도데실 설페이트 음이온(DS-)이 함유된 용액에 단량체 피롤을 혼합한 전해용액을 이용하고, 센서구조를 갖는 미세전극을 양극에, 백금판을 음극에 두고 직류전원을 인가하면서, 중합을 행하여 상기 양극에 상기 음이온(DS-)이 도핑된 폴리피롤을 필름상으로 형성하고, 이어서 크기가 작은 양이온(Na+, K+)이 함유된 전해수용액을 이용하고 상기 양극과 음극에 반대극성의 직류전원을 인가하면서 환원을 행하여 상기 폴리피롤에 상기 음이온(DS-)을 억류시킴과 아울러 상기 양이온(Na+,K+)을 침투시켜 염을 형성함에 의하여 이온전도성을 부여함을 특징으로 하는 고분자 습도센서 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 중합용 전해용액은 비양자성 용매인 아세토니트릴(ACN)에 테트라부틸암모니움 도데실 설페이트(TBADS)를 전해질로 혼합한 것임을 특징으로 하는 고분자 습도센서 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 중합용 전해용액은 소디움 도데실 설페이트(NaDS) 수용액인 것을 특징으로 하는 고분자 습도센서 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 중합시 양극이 인가되는 전극은 유리 또는 알루미나 기판위에 텅스텐, 니켈을 차례로 피착하고 감광성 고분자를 코팅한후 식판인쇄법에 의하여 설계된 구조로 상을 형성시키고, 식각된 부분에 금도금을 한후 감광성 고분자, 니켈, 텅스텐을 차례로 식각하여 장폭부와 단폭부 부분전극이 교대로 배열된 빗살모양으로 형성된 미세전극임을 특징으로 하는 고분자 습도센서 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 미세전극의 각 부분전극의 간격은 7
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