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녹색금합금피막및그의제조방법

  • 기술번호 : KST2015119918
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금/금속 질화물, 금/금속 산화물 또는 금/금속 질화-산화물이 혼합되어 있는 복합 미세 구조의 녹색 금 합금 피막 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL C23C 14/00 (2006.01)
CPC C23C 14/0084(2013.01) C23C 14/0084(2013.01) C23C 14/0084(2013.01) C23C 14/0084(2013.01) C23C 14/0084(2013.01) C23C 14/0084(2013.01) C23C 14/0084(2013.01)
출원번호/일자 1019930027954 (1993.12.16)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0104984-0000 (1996.09.18)
공개번호/일자 10-1995-0018626 (1995.07.22) 문서열기
공고번호/일자 1019960008148 (19960620) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.12.16)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김순광 대한민국 서울특별시서초구
2 이세광 대한민국 서울특별시강동구
3 김원목 대한민국 서울특별시성북구
4 윤종식 대한민국 서울특별시성북구
5 이면학 대한민국 서울특별시도봉구
6 박병완 대한민국 서울특별시서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 김성택 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1993.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1993-0140794-09
2 특허출원서
Patent Application
1993.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1993-0140793-53
3 출원심사청구서
Request for Examination
1993.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1993-0140795-44
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1996.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0066181-00
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
1996.03.14 수리 (Accepted) 1-1-1993-0140796-90
6 의견서
Written Opinion
1996.04.13 수리 (Accepted) 1-1-1993-0140797-35
7 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application
1996.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0066182-45
8 등록사정서
Decision to grant
1996.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0066183-91
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

금/금속 질화물/, 금/금속 산화물, 또는 금/금속 질화-산화물의 복합 구조를 가지며, 금의 조성이 피막 표면으로부터 피막 내부를 향하여 감소하는 구배를 갖는 것이 특징인 녹색 금 합금 피막

2 2

제1항에 있어서, 금 합금을 이루는 원소가 알루미늄, 실리콘 및 탄탈륨으로 이루어진 군 중에서 선택되는 것인 피막

3 3

제1항에 있어서, 금속 질화물, 금속 산화물 또는 금속 질화-산화물막이 가시광선을 투과시키는 것인 피막

4 4

제1항에 있어서, 피막의 두께는 100 내지 10,000옹스트롬 범위인 것인 피막

5 5

질소, 산소, 질소/산소 혼합 가스 또는 이들을 함유한 불활성 가스의 플라스마 분위기하에서 금 합금 증발원을 가열 증발시켜 기판상에 증착시키는 것으로 이루어지는 것이 특징인 금/금속 질화물, 금/금속 산화물 또는 금/금속 질화-산화물의 복합 미세 구조를 갖는 녹색 금 합금 피막의 제조 방법

6 6

제5항에 있어서, 피막이 마그네트론 스퍼터링법, 이온 빔 스퍼터링법 및 이온 도금법으로 이루어진 군 중에서 선택된 방법에 의해 제조되는 것인 방법

7 7

제5항에 있어서, 금 합금 증발원이 전기 저항 가열법, 전자총 가열법, 할로우 캐소드 가열법 및 고주파 유도 용해법으로 이루어진 군 중에서 선택된 방법에 의해 가열되는 것인 방법

8 8

제5항에 있어서, 기판의인가 전압이 0 내지 1,000볼트인 방법

9 9

제5항에 있어서, 기판의 가열 온도가 실온 내지 800℃인 방법

10 10

제5 내지 제9항 어느 한 항의 방법에 의해 형성된 녹색 금 합금 피막을 갖는 물품

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.