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이송거리 제한스위치의 범위내에서 기판이송용 모타를 이용하여 무패턴 기판을 이송하는 기판이송부와; 무패턴 기판이 놓여지는 상기 기판이송부의 상측에 배열되며, 카메라렌즈 및 1차원 CCD 영상센서어레이로 이루어져 선형광원에서 조사된 빔을 영상신호로 변환시키는 광영상부와; 상기 광영상부의 일측에 배열된 단일모듈형 검색기로 이루어진 것을 특징으로 하는 무패턴 기판의 결함 자동검색장치
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제1항에 있어서, 상기 선형광원은 길고 가는 형태의 할로겐 램프나 형광등 중 선택된 어느 하나를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 무패턴 기판의 결함 자동검색장치
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제1항에 있어서, 상기 단일모듈형 검색기는 1차원 CCD 영상센서어레이에 의한 영상화부와; 상기 1차원 CCD 영상센서어레이에서 추출된 영상신호를 디지탈 신호로 변환하는 아날로그/디지탈 변환기와, 디지탈화된 신호를 고속으로 처리하면서 원하는 알고리즘을 프로그램과 데이타 메모리를 통해 구현하여 무패턴 기판의 결함을 검출하는 디지탈신호처리 칩과, 디지탈신호처리 칩을 부팅시키기 위한 부팅롬과, 검색된 영역을 수개의 구간으로 나누어 어느 구간에 결함이 있는지를 확인할 수 있도록 하는 발광다이오드 디스플레이로 이루어진 고속 영상신호처리부 및; 검색 결과를 표시하기 위한 액정디스플레이 패널과 통신 및 디스플레이 프로그램부로 이루어져 고속 영상신호처리부에서 받은 총괄된 검색결과를 액정디스플레이 패널을 이용하여 표시하는 출력표시부로 이루어짐을 특징으로 하는 무패턴 기판의 결함 자동검색장치
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카메라렌즈 및 1차원 CCD 영상센서어레이로 이루어져 광원에서 조사된 빔을 영상신호로 변환시키는 광영상화부와; 상기 1차원 CCD 영상센서어레이에서 추출된 영상신호를 디지탈 신호로 변환하는 아날로그/디지탈 변환기와, 디지탈화된 신호를 고속으로 처리하면서 원하는 알고리즘을 프로그램과 데이타 메모리를 통해 구현하여 무패턴 기판의 결함을 검출하는 디지탈신호처리 칩과; 디지탈신호처리 칩을 부팅시키기 위한 부팅롬과, 검색된 영역을 수개의 구간으로 나누어 어느 구간에 결함이 있는지를 확인할 수 있도록 하는 발광다이오드 디스플레이로 이루어진 고속 영상신호처리부 및; 디스플레이용 액정디스플레이 패널과 통신 및 디스플레이 프로그램부로 이루어져 고속 영상신호처리부에서 받은 총괄된 검색 결과를 액정디스플레이 패널을 이용하여 표시하는 출력표시부로 이루어짐을 특징으로 하는 무패턴 기판의 결함 자동검색장치
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한개 또는 두개의 길고 가는 선형광원으로 기판 표면에 빔을 조사하여 기판 표면에서의 반사광을 카메라렌즈에 의해 1차원 CCD 영상센서어레이에서 아날로그 영상신호로 변환시키는 제1단게와; 상기 CCD 영상센서어레이에서 출력된 아날로그 영상신호를 비디오 아날로그/디지탈 변환기를 통해 디지탈 신호로 바꾼 후 고속으로 신호를 처리할 수 있는 디지탈신호처리 칩으로 보내는 제2단계와; 상기 디지탈신호처리 칩 내부에서 프로그램과 데이타 메모리를 통해 신호를 처리하는 알고리즘을 구현하고 이것에 의해 검출된 검색결과를 출력표시부에 표시하는 제3단계로 이루어짐을 특징으로 하는 무패턴 기판의 결함 자동검출장치를 이용한 검색방법
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제5항에 있어서, 상기 제1단계는 한개의 선형광원으로 기판 표면에 빔을 조사하여 무패턴 기판의 결함 자동검색을 실시할 경우에는 기판 상단에 배열된 선형광원을 이용하여 기판에 빔을 조사하도록 하고, 두개의 선형광원으로 기판 표면에 빔을 조사하여 무패턴 기판의 결함 자동검색을 실시할 경우에는 기판 상단 및 하단에 배열된 선형광원으로 동시에 빔을 기판에 조사하도록 하는 것을 특징으로 하는 무패턴 기판의 결함 자동검출장치를 이용한 검색방법
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