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결정의존성습식식각을이용하여제조된실리콘팁및그제조방법

  • 기술번호 : KST2015120004
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 결정의존성 습식식각을 이용하여 제조된 실리콘 팁 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은 특히 (110) 면지수를 갖는 단결정 실리콘 기판에 대해 결정의존성 식각을 행하여 기둥모양을 갖는 실리콘 구조물을 행하고, 이 기둥의 끝부분을 뾰족하게 함으로써 전계방출소자용 실리콘 팁 어레이의 제조에 응용할 수 있도록 한 것이다.본 발명에 의한 실리콘 팁은 바늘(needle) 모양을 하고 있으며, 제조방법은 먼저 (110) 실리콘 기판상에 결정방향을 고려하여 평행사변형 또는 사각형의 식각마스크를 형성한 뒤, 이를 결정의존성 식각하고, 다음으로 샤프닝(sharpening) 공정을 통하여 팁을 제작하는 것으로, 팁의 밑 부분이 차지하는 면적이 작아지게 되므로, 고밀도 팁 어레이를 제작할 수 있으며, 아울러 팁의 종횡비를 매우 크게 할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01)
CPC H01L 21/30608(2013.01) H01L 21/30608(2013.01) H01L 21/30608(2013.01)
출원번호/일자 1019950008890 (1995.04.15)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0148067-0000 (1998.05.21)
공개번호/일자 10-1996-0039180 (1996.11.21) 문서열기
공고번호/일자 (19981102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.04.15)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주병권 대한민국 경기도성남시분당구
2 오명환 대한민국 서울특별시도봉구
3 이윤희 대한민국 경기도성남시분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.04.15 수리 (Accepted) 1-1-1995-0039268-26
2 특허출원서
Patent Application		 1995.04.15 수리 (Accepted) 1-1-1995-0039267-81
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.04.15 수리 (Accepted) 1-1-1995-0039269-72
4 등록사정서
Decision to grant		 1998.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0019958-46
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1

(110) 실리콘 기판 상에 끝부분이 뾰족한 4각기둥으로 형성됨을 특징으로 하는 결정의존성 습식식각을 이용하여 제조된 실리콘 팁

2 2

(110) 실리콘 기판 상에 결정방향에 따라 평행사변형의 식각마스크를 형성하는 제1공정과, 결정의존성 식각용액으로 상기 실리콘 표면을 식각하여 4각기둥의 형상을 갖는 실리콘 구조물을 형성하는 제2공정과, 상기 4각기둥으로 형성된 실리콘 구조물의 끝부분을 뾰족하게 형성하는 제3공정의 순서로 수행함을 특징으로 하는 실리콘 팁의 제조방법

3 3

제2항에 있어서, 상기 결정의존성 식각용액은 85℃의 44% KOH:H2O용액 또는 F-etchant용액 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 실리콘 팁의 제조방법

4 4

제2항에 있어서, 상기 제3공정은 습식식각법, 실리콘의 열 산화에 의한 방법 또는 건식식각법 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 실리콘 팁의 제조방법

5 5

(110) 실리콘 기판 상에 끝부분이 뾰족한 6각기둥으로 형성됨을 특징으로 하는 결정의존성 습식식각을 이용하여 제조된 실리콘 팁

6 6

(110) 실리콘 기판 상에 결정방향에 따라 직사각형 혹은 정사각형의 식각마스크를 형성하는 제1공정과, 결정의존성 식각용액으로 상기 실리콘 표면을 식각하여 6각기둥의 형상을 갖는 실리콘 구조물을 형성하는 제2공정과, 상기 6각기둥으로 형성된 실리콘 구조물의 끝부분을 뾰족하게 형성하는 제3공정의 순서로 수행함을 특징으로 하는 실리콘 팁의 제조방법

7 7

제6항에 있어서, 상기 결정의존성 식각용액은 F-etchant용액인 것을 특징으로 하는 실리콘 팁의 제조방법

8 8

제6항에 있어서, 상기 제3공정은 습식식각법, 실리콘의 열 산화에 의한 방법 또는 건식식각법 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 실리콘 팁의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.