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일측에 탄화질 성형체 투입구가 형성되고, 타측에 탄화규소 반응소결체 배출구가 형성된 반응로와, 상기 반응로 내부에서 일정한 속도로 이동되는 카본 직포(1)와, 상기 카본 직포를 연속적으로 이송시키는 이송장치(2)와, 상기 성형체 투입구를 통해 카본 직포로 투입되는 성형체에 공급되는 용융 규소 또는 규소-몰리브데늄 합금이 수납되어 있는 용융금속 공급용기(3)와, 상기 용융금속 공급용기와 카본 직포 사이에 설치되어 카본 직포 위에서 이송되는 성형체로 용융금속이 공급되는 이동통로(5)를 구비한 열분해 카본 코팅된 그라파이트 또는 고밀도 그라파이트(4)와, 상기 용융금속이 침윤된 성형체가 소결된 후 성형체에 과잉침윤된 금속을 제거하는 과잉용융금속 제거장치(6)로 구성함을 특징으로 하는 탄화규소 반응소결체의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 열분해 카본 코팅된 그라파이트 또는 고밀도 그라파이트의 상면에 성형체와 공급되는 용융금속과의 접촉면적을 증대시키도록 성형체와 동일한 형상의 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 탄화규소 반응소결체의 제조장치
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 열분해 카본 코팅된 그라파이트 또는 고밀도 그라파이트는 반응로의 높이 방향으로 2∼5개 적층 설치되며, 각각의 그라파이트마다 카본 직포가 설치된 것을 특징으로 하는 탄화규소 반응소결체의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 열분해 카본 코팅된 그라파이트 또는 고밀도 그라파이트의 이동통로는 폭이 0
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다공성 탄화규소/카본 또는 카본 성형체를 사용하여 용융금속의 침투에 의해 탄화규소 반응소결체를 제조하는 탄화규소 반응소결체의 제조방법에 있어서, 불활성분위기 하에서 용융금속 공급용기로부터 이동통로가 형성된 열분해 카본 코팅된 그라파이트 또는 고밀도 그라파이트를 통해 모세관압에 의해 용융금속을 상기 탄소질 성형체로 공급하며, 상기 탄소질 성형체가 놓이는 카본 직포는 일정한 속도로 이동하여 상기 탄소질 성형체를 연속적으로 이송시켜 연속침윤시킴을 특징으로 하는 탄화규소 반응소결체의 연속제조방법
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제5항에 있어서, 탄소질 성형체가 카본 직포에 놓여지는 초기상태에서는 탄소질 성형체 투입구와 탄화규소 반응소결체 배출구를 폐쇄하여 10-2torr이하의 진공분위기에서 1450℃ 이상으로 가열하고, 탄소질 성형체가 놓인 카본 직포에 용융금속의 침윤이 시작되면 분위기를 불활성분위기로 전환함과 아울러 탄소질 성형체 투입구 및 탄화규소 반응소결체 배출구를 개방하며, 탄화규소 반응소결체의 표면에 잔류하는 과잉용융금속은 과잉용융금속 제거장치에 의해 제거되도록 하며, 카본 직포를 연속적으로 이송시켜 성형체를 연속침윤시킴을 특징으로 하는 탄화규소 반응소결체의 연속제조방법
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제6항에 있어서, 상기 탄소질 성형체에 용융금속 침윤시 반응대의 가열온도는 1450∼1700℃이고, 용융금속 공급용기의 가열온도는 1450∼1500℃인 것을 특징으로 하는 탄화규소 반응소결체의 연속제조방법
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제6항에 있어서, 상기 과잉용융굼속 제거장치의 가열온도는 1600∼1800℃인 것을 특징으로 하는 탄화규소 반응소결체의 연속제조방법
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제5항에 있어서, 상기 카본 직포의 이송속도는 0
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