기판(4), 양자우물 또는 화합물 반도체로 구성된 이득매질층(1), 굴절율이 다른 2종류의 반사물질면이 교대로 적층되어 형성된 상부 반사경(3) 및 하부 반사경(2)으로 구성된 반사경, 양성자 주입영역(6) 및 전기 상부 반사경(3)의 상면에 구성되며 빛을 방출하기 위한 레이저 창(12)이 형성된 전극(5)으로 구성되어 레이저광을 방출하는 수직공진 표면광 레이저에 있어서, 전기한 반사물질면의 최외측면에 구성되며 비등방전인 선의 형태로 형성된 격자패턴층(14)을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면광 레이저

제1항에 있어서, 격자패턴층(14)의 측면에 금속막(16)을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면광 레이저

(ⅰ) 기판(4)의 상단면에 상부 반사경(3)과 하부 반사경(2)으로 구성된 반사경 및 이득매질층(1)을 형성하는 에피층 성장과정; (ⅱ) 전기한 상부 반사경(3)의 최외측면에 격자패턴층(14)을 형성하는 격자패턴층 형성과정; 및, (ⅲ) 전기한 격자패턴층(14)이 형성된 기판(4)의 상면에 금속을 증착하여 레이저 창(12)이 구성된 전극(5)을 형성하고 전류 경로를 제한하기 위한 양성자 주입영역(6)을 형성하는 과정을 포함하는 수직공진 표면광 레이저의 제조방법

제3항에 있어서, 격자패턴층(14)의 측면에 금속을 증착하여 금속막(16)을 형성하는 공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면광 레이저의 제조방법

제3항에 있어서, 격자패턴층(14)의 형성은 상부 반사경(3)의 최외측면을 식각하여 형성하는 것을 특징으로 하는 수직공진 표면광 레이저의 제조방법