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불화 칼슘(CaF2)을 삼산화크롬(CrO3)과 염화아연(ZnCl2) 및 염화제2철(FeCl2)의 수용액과 혼합한후 에탄올(C2H5OH)과 반응시켜 얻어지는 생성물을 소성함으로써 얻어지는 불소화 촉매의 존재하에, 제 1단계로서, 제 1 반응기에서 1,1,1,-트리플루오로-2-클로로에탄(CFCH2Cl, HCFC-133a)을 HF와 반응시켜 1,1,1,2-테트라플루오로에탄(HFC-134a;CFCH2F) 펜타플루오로에탄(HFC-125;CF3CH2F) 및 1,1,1,-트리플루오로에탄 (HFC-143a;CF3CH3)를 제조하고, 제 2단계로서, 제 2반응기에서 제 1단계 반응생성물에 트리클로로에틸렌(TCE:CCl2CHCl)을 첨가하여 HCFC-133a를 제조한 다음, 제2단계 반응생성물로부터 HCl, HFC-134a HFC-125 및 HFC-143a를 분리한 후, 제 1반응기로 HCFC-133a를 재순환시키는 것으로 이루어지는 1,1,1,2-테트라플루오로에탄(HFC-134a;CF3CH2F), 펜타플루오로에탄(HFC-125;CF3CHF2)및 1,1,1-트리플루오로에탄(HFC-143a;CF3CH3)의 병산방법
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