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NOX 가스 감지소자 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015120098
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 NOx가스감지소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 NOx가스농도측정방법은 전기화학센서(Electrochemical Sensor), 질량분광계(Mass Spectrom etry)등의 장비를 이용하여 분석하는 방법을 채용하였는데, 자동차 등의 측정장비에 부착이 어렵고, 소형화가 곤란하며, 가격이 비싼 단점이 있다.이에 박막증착용 알루미나 기판 전면에 소정의 패턴으로 백금 박막전극을 형성하는 공정과; 알루미나 기판 후면에 팔라듐-은 후막 히터를 실크스크린 프린팅법으로 형성하는 공정과; 전극이 형성된 기판의 전면에 NOx가스감지용 산화텅스텐 박막을 증착하고, 열처리하는 공정과; 전극과 히터에 각각 도선을 연결하는 공정과; 히터가 형성된 기판 후면에 고온용 알루미나 접착제를 도포하여 방열 및 절연시키는 공정으로 이루어지는 본 발명의 제조방법을 통하여 가스감지용 박막으로 WO3산화물 반도체를 사용하여 제조됨을 특징으로 한 NOx가스감지소자를 제공하여 자동차의 배출가스계측에 적용가능한 저가의 소형 고감도 센서를 제조가능하도록 한 것이다.
Int. CL G01N 27/16 (2006.01) G01N 27/14 (2006.01)
CPC G01N 27/16(2013.01)
출원번호/일자 1019960000102 (1996.01.05)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0181257-0000 (1998.12.05)
공개번호/일자 10-1997-0059733 (1997.08.12) 문서열기
공고번호/일자 (19990515) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.01.05)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정형진 대한민국 서울특별시 성북구
2 김태송 대한민국 서울특별시 마포구
3 유광수 대한민국 서울특별시 강남구
4 정종학 대한민국 서울특별시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 주식회사 우영 대한민국 서울특별시 도봉구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1996.01.05 수리 (Accepted) 1-1-1996-0000484-14
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.01.05 수리 (Accepted) 1-1-1996-0000483-79
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1996.01.05 수리 (Accepted) 1-1-1996-0000486-16
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.01.05 수리 (Accepted) 1-1-1996-0000485-60
5 특허출원서
Patent Application		 1996.01.05 수리 (Accepted) 1-1-1996-0000482-23
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1996-0000167-49
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1998.09.28 수리 (Accepted) 1-1-1996-0000487-51
8 의견서
Written Opinion		 1998.10.27 수리 (Accepted) 1-1-1996-0792597-84
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.10.27 수리 (Accepted) 1-1-1996-0792592-56
10 등록사정서
Decision to grant		 1998.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1996-0437409-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

박막증착용 알루미나 기판과, 상기 기판에 소정의 패턴으로 형성되는 백금박막 전극과, 가스감지용 산화물 센싱막과, 상기 센싱막을 가열하기 위한 히터, 및 상기 전극 및 히터에 연결되는 도선으로 이루어지는 가스감지소자에 있어서, 상기 백금박막전극은 기판의 전면에 소정패턴으로 형성되고, 상기 센싱막은 NOx를 감지하기 위한 산화텅스텐 박막으로서 상기 전극이 형성된 기판 전면에 형성되어 있으며, 상기 히터는 팔라듐-은 후막히터로서 상기 기판의 후면에 형성되어 있으며, 고온용 알루미나 접착제가 상기 히터가 형성된 기판의 후면에 코팅되어 기판의 방열을 방지하고 기판을 절연시키는 것을 특징으로 하는 가스감지소자

2 2

청구항 1에 의한 가스감지소자를 제조하기 위한 방법으로서, 박막증착용 알루미나 기판 전면에 소정의 패턴으로 백금 박막 전극을 형성하는 공정; 상기 알루미나기판 후면에 팔라듐-은 후막히터를 실크스크린 프린팅법으로 형성하는 공정; 상기 전긍이 형성된 기판의 전면에 NOx가스감지용 산화텅스텐 박막을 증착하고 열처리 하는 공정; 상기 전극과 히터에 각각 도선을 연결하는 공정; 및, 상기 히터가 형성된 기판 후면에 고온용 알루미나 접착제를 도포하여 기판의 방열을 방지하고 절연시키는 공정;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스감지소자 제조방법

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제2항에 있어서, 상기 NOx가스감지용 산화텅스텐 박막의 증착두께는 수천 Å 내지 2㎛인 것을 특징으로 하는 가스감지소자

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.