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다공성 지지체의 벽을 사이에 두고 한 쪽 면으로는 금속염 용액을, 반대 쪽면으로는 알칼리 유체를 각각 흘려 보냄으로써, 상기 지지체의 표면이나 기공 내부에 이와 같이 생성된 불용성 무기층을 건조시킨 후에, 고온 소결시켜 금속 산화물층을 형성시키는 것으로 이루어지는, 미세 기공 무기막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 산화물층을 추가로 금속층으로 환원시키는 것으로 이루어지는 미세 기공 무기막의 제조 방법
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제1항 또는 2항에 있어서, 상기 금속염 용액이 2 가 이샹의 금속염으로 이루어진 용액인 방법
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제3항에 있어서, 상기 금속염이 금속 염학물, 금속 옥살레이트, 금속 질화물 또는 그 혼합물인 방법
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제4항에 있어서, 상기 금속염이 알루미늄, 지르코늄, 실리콘, 타이타늄, 철, 바나듐
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제1항 또는 2항에 있어서, 상기 알카리 유체가 pH7 이상이 되는 방법
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제6항에 있어서, 상기 알칼리 유체가 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화칼슘, 암모니아수, 탄산나트륨 및 탄산암모늄으로 구성되는 군에서 선택되는 한 가지 이상의 용액인 방법
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제6항에 있어서, 상기 알칼리 유체가 암모니아 기체인 방법
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제1항 또는 2항에 있어서, 상기 소결 온도가 400∼700℃인 방법
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제2항에 있어서, 상기 금속 산화물층을 수소 분위기 하에서 200∼700℃로 가열하여 금속층을 형성시키는 방법
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11
제1항에 있어서, 상기 금속 산화물층이 A12O3, SiO2, TiO2, ZrO2, NiO, Fe2O3, Y2O3, MgO, Cr2O3, V2O5, PdO, AgO 또는 그 혼합물로 이루어지는 방법
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제2항에 있어서, 상기 금속층이 Pd, Ni, Pt, Ag 또는 그 혼합물로 이루어지는 방법
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제1항에 있어서, 상기 미세 기공 무기막의 기공 크기가 1∼20㎜인 방법
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