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(a) 챔버 내에 표면 처리하고자 하는 금속재료로 이루어지는 양극과 음극을 위치시키고; (b) 상기 챔버내의 압력을 소정 진공 상태로 유지하고; (c) 소정 압력의 불포화 지방족 탄화수소 단량체 가스 또는 불소계 단량체 가스와 소정 압력의 중합 불능 가스를 상기 챔버 내로 도입하고; (d) 상기 전극에 전압을 인가하여 DC 방전에 의해, 상기 챔버내에 도입된 불포화 지방족 탄화수소 가스 또는 불소계 단량체 가스와 중합 불능 가스로부터 양(+) 및 음(-) 이온 및 라디칼로 이루어지는 플라즈마를 얻고, 플라즈마 증착에 의해 상기 양극 표면에 친수성 또는 소수성을 갖는 고분자 중합막을 형성하는; DC 방전 플라즈마를 이용한 금속 표면에의 고분자 중합막 합성방법
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(a) 챔버 내에 표면 처리하고자 하는 절연재료가 그 표면 위에 설치된 금속 양극과 음극을 위치시키고; (b) 상기 챔버내의 압력을 소정 진공 상태로 유지하고; (c) 소정 압력의 불포화 지방족 탄화수소 단량체 가스 또는 불소계 단량체 가스와 소정 압력의 중합 불능 가스를 상기 챔버 내로 도입하고; (d) 상기 전극에 전압을 인가하여 DC 방전에 의해, 상기 챔버내에 도입된 불포화 지방족 탄화수소 가스 또는 불소계 단량체 가스와 중합 불능 가스로부터 양(+) 및 음(-) 이온 및 라디칼로 이루어지는 플라즈마를 얻고, 플라즈마 증착에 의해 상기 양극에 설치된 절연 재료 표면에 친수성 또는 소수성을 갖는 고분자 중합막을 형성하는; DC 방전 플라즈마를 이용한 고분자 또는 세라믹과 같은 절연 재료 표면에의 고분자 중합막 합성방법
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3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 DC 방전이 전 처리 시간 동안에 ON/OFF 펄스 형태로 주기적으로 행해져 상기 고분자의 친수성능을 향상시키는 고분자 중합막 합성방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 (d) 단계에서 얻어진 고분자가 O2, N2, CO2, CO, H2O and NH3 가스로 구성되는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 중합 불능 가스의 플라즈마에 의해 표면처리되어 고분자의 친수성능을 향상시키는 고분자 중합막 합성방법
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제 4 항에 있어서, 상기 중합 불능 가스가 불활성 가스와 함께 사용되는 고분자 중합막 합성방법
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제 4 항에 있어서, 상기 추가적인 플라즈마 처리시 (d) 단계에서 고분자가 증착된 상기 전극 또는 절연재료가 음극으로 사용되는 고분자 중합막 합성방법
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7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 (d) 단계의 플라즈마에 의한 고분자 중합 단계는 1초 내지 2분 동안 수행되는 고분자 중합막 합성방법
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제 7 항에 있어서, 상기 (d) 단계의 플라즈마에 의한 고분자 중합 단계는 5초 내지 60초 동안 수행되는 고분자 중합막 합성방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 불포화 지방족 탄화수소 단량체 가스 및 중합 불능 가스의 비율에 따라 상기 고분자 중합막의 성질이 결정되는 고분자 중합막 합성방법
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10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 불소계 단량체 가스 및 중합 불능 가스의 비율에 따라 상기 고분자 중합막의 성질이 결정되는 고분자 중합막 합성방법
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11
제 10 항에 있어서, 상기 불소계 단량체 가스는 C2H2F2, C2HF3와 같이 C, H 및 F로 구성되는 단량체 가스이고, 적어도 하나의 탄소 이중 결합을 갖고 있는 고분자 중합막 합성방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 중합 불능 가스는 전 가스 혼합체의 0 내지 90%인 고분자 중합막 합성방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 고분자 중합막을 대기 중에서, 100-400℃ 온도범위로, 1분 내지 60 분 동안 열처리하는 고분자 중합막 합성방법
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14
(a) 챔버 내에 표면 처리되는 재료인 수동 전극과 금속인 능동 전극을 위치시키고; (b) 상기 챔버내의 압력을 소정 진공 상태로 유지하고; (c) 소정 압력의 불포화 지방족 탄화수소 단량체 가스 또는 불소계 단량체 가스와 소정 압력의 중합 불능 가스를 상기 챔버 내로 도입하고; (d) 상기 전극에 전압을 인가하여 RF 방전에 의해, 상기 챔버내에 도입된 불포화 지방족 탄화수소 가스 또는 불소계 단량체 가스와 중합 불능 가스로부터 양(+) 및 음(-) 이온 및 라디칼로 이루어지는 플라즈마를 얻고, 플라즈마 증착에 의해 상기 수동 전극 표면에 친수성 또는 소수성을 갖는 고분자 중합막을 형성하는; RF 방전 플라즈마를 이용한 금속, 세라믹 또는 고분자를 포함한 재료 표면에의 고분자 중합막 합성방법
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제 14 항에 있어서, 상기 불포화 지방족 탄화수소 단량체 가스 및 중합 불능 가스의 비율에 따라 상기 고분자 중합막의 성질이 결정되는 고분자 중합막 합성방법
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제 14 항에 있어서, 상기 불소계 단량체 가스 및 중합 불능 가스의 비율에 따라 상기 고분자 중합막의 성질이 결정되는 고분자 중합막 합성방법
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17
제 16 항에 있어서, 상기 불소계 단량체 가스는 C2H2F2, C2HF3와 같이 C, H 및 F로 구성되는 단량체 가스이고, 적어도 하나의 탄소 이중 결합을 갖고 있는 고분자 중합막 합성방법
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18
제 14 항에 있어서, 상기 고분자 중합막을 대기 중에서, 100-400℃ 온도범위로, 1분 내지 60 분 동안 열처리하는 고분자 중합막 합성방법
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19
(a) 챔버 내에 표면 처리되는 재료인 수동 전극과 금속인 능동 전극을 위치시키고; (b) 상기 챔버내의 압력을 소정 진공 상태로 유지하고; (c) 소정 압력의 불소계 단량체 가스와 소정 압력의 중합 불능 가스를 상기 챔버 내로 도입하고; (d) 상기 전극에 전압을 인가하여 RF 방전에 의해, 상기 챔버내에 도입된 불소계 단량체 가스와 중합 불능 가스로부터 양(+) 및 음(-) 이온 및 라디칼로 이루어지는 플라즈마를 얻고, 플라즈마 증착에 의해 상기 능동 전극 표면에 소수성을 갖는 고분자 중합막을 형성하는; RF 방전 플라즈마를 이용한 금속, 세라믹 또는 고분자를 포함한 재료 표면에의 고분자 중합막 합성방법
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전술한 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 제조되어 친수성 또는 소수성이 뛰어난 고분자를 갖는 재료
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제 20 항에 있어서, 상기 재료는 도장성이 뛰어난 고분자 중합막을 갖는 재료
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제 20 항에 있어서, 상기 재료는 내식성이 뛰어난 고분자 중합막을 갖는 재료
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