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유기 바인더 및 용제로 구성된 비이클(Vehicle)을 제조하고, 상기 비이클에 세라믹 분말을 분산시켜 페이스트(paste)를 제조하고, 상기 페이스트로 스크린 프린팅법에 의해 일정한 두께의 후막을 프린팅하고, 프린팅된 후막을 건조한 후 유기바인더를 제거하고, 프린팅된 후막 표면에 졸(sol) 또는 졸과 유사한 용액(solution)을 도포하여 상기 후막으로 스며들도록 함침시키고, 상기 후막을 스피닝(spinning)하여 여분의 졸 또는 졸과 유사한 용액을 제거하고, 상기 후막을 건조하여 중간 열처리를 하고, 상기 후막을 700 ~ 1200℃의 온도에서 소결하는 단계를 포함하여 이루어지는 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 졸과 유사한 용액은 PZT성분을 함유한 알콕사이드(alkoxide), 수화물(hydrate), 카보네이트(carbonate) 등의 금속유기물(metal organic) 등을 단독으로 혹은 혼합된 상태로, 또는 용매에 단순히 용해시킨 용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 졸 또는 졸과 유사한 용액은 상기 세라믹 분말과 동일한 성분인 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 졸 또는 졸과 유사한 용액은 상기 세라믹 분말과 다른 성분인 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법
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제1항에 있어서, 스크린 프린팅에 의해 일정 두께의 후막을 형성하고 졸 또는 졸과 유사한 용액을 후막 표면에 함침시킨 후, 이 과정을 2회 이상 반복적으로 실시하여 상기 후막을 치밀화 시키는 것을 특징으로 하는 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 소결시 소결온도는 800 ~ 900℃의 범위인 것을 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 후막의 두께는 1 ~ 200㎛의 범위인 것을 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법
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유기 바인더 및 용제로 구성된 비이클을 제조하고, 상기 비이클에 세라믹 분말을 분산시켜 페이스트를 제조하고, 상기 페이스트로 스크린 프린팅법에 의해 일정한 두께의 후막을 프린팅하고, 프린팅된 후막을 건조한 후 유기바인더를 제거하고, 상기 후막을 소결하고, 상기 후막 표면에 졸 또는 졸과 유사한 용액을 도포하여 상기 후막으로 스며들도록 함침시키고, 상기 후막을 600 ~ 700℃의 온도에서 소결하는 단계를 포함하여 이루어지는 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법
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유기 바인더 및 용제로 구성된 비이클을 제조하고, 상기 비이클에 세라믹 분말을 분산시켜 페이스트를 제조하고, 상기 페이스트로 스크린 프린팅법에 의해 일정한 두께의 후막을 프린팅하고, 프린팅된 후막을 건조한 후 유기바인더를 제거하고, 프린팅된 후막 표면에 졸 또는 졸과 유사한 용액을 도포하여 상기 후막으로 스며들도록 함침시키고, 상기 후막을 스피닝하여 여분의 졸 또는 졸과 유사한 용액을 제거하고, 상기 후막을 건조하여 중간 열처리를 하고, 상기 후막을 소결하고, 상기 후막 표면에 졸 또는 졸과 유사한 용액을 다시 도포하여 상기 후막으로 스며들도록 함침시키고, 상기 후막을 소결하는 단계를 포함하여 이루어지는 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법
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