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트리클로로실란과 다음 화학식 1의 유기 할로겐 화합물을 촉매로서 3차 아민의 존재 하에 탈할로겐화수소 반응시켜 다음 화학식 2의 유기실란 화합물을 합성하는 방법: 화학식 1 R1CH2X 화학식 2 R2CH2SiCl3 [상기 화학식 1에서, X는 클로로 또는 브로모; R1은 탄소수 1 내지 17개의 알킬기, 불포화 결합을 함유하는 탄소수 2 내지 5개의 알케닐기, (CH2)nSiMe3-mClm으로 표시되는 알킬기 (이 때 n은 0 내지 2의 정수, m은 0 내지 3의 정수임), Ar(R')q로 표시되는 방향족기 (이 때 Ar은 탄소수 6 내지 14개의 방향족 탄화수소이고 R'은 탄소수 1 내지 4개의 알킬기, 할로겐, 알콕시, 또는 비닐이며, q는 0 내지 5의 정수임), (CH2)pX로 표시되는 할로알킬기 (이 때, p는 1 내지 9의 정수이고 X는 클로로 또는 브로모임), 또는 ArCH2X로 표시되는 할로메틸 방향족기 (이 때 Ar은 탄소수 6 내지 14개의 방향족 탄화수소이고 X는 클로로 또는 브로모임)이고; 화학식 2의 R2는 화학식 1의 R1과 동일하나, 단, 화학식 2의 R1이 (CH2)pX이거나 ArCH2X인 경우 화학식 2의 R2는 (CH2)pSiCl3이거나 ArCH2SiCl3가 될 수 있다]
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제 1항에 있어서, 상기 3차 아민 촉매가 다음 화학식 3 내지 화학식 5 중 어느 하나의 구조를 갖는 화합물인 방법: 화학식 3 NR33 (식 중, R3는 탄소수 1 내지 20개의 알킬기 또는 방향족기로서 각각의 R3는 서로 같거나 다를 수 있고, 2개의 R3는 서로 공유결합으로 연결되어 고리를 형성할 수도 있다
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제 2항에 있어서, 3차 아민을 실리콘 레진, 실리카, 알루미나, 유기 고분자와 같은 고형제에 고정시켜 만든 불균일 촉매로서 사용하는 방법
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