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화학적 기계적 연마공정에서 발생한 폐수에 포함된 SiO2 미립자를 성장시켜서 침전 또는 여과함으로써 상기 SiO2 미립자를 제거하는 화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법에 있어서; 화학적 기계적 연마공정에서 발생한 폐수를 제1 급속혼화조 이송하고, 상기 제1 급속혼화조에 이송된 폐수에 칼슘화합물을 투입하여 그들을 교반하는 단계와; 상기 제1 급속혼화조 내의 폐수를 제2 급속혼화조로 이송하고, 상기 제2 급속혼화조로 이송된 폐수에 양이온 고분자응집제를 투입하여 그들을 교반하는 단계와; 상기 제2 급속혼화조 내의 폐수를 제3 급속혼화조로 이송하고, 상기 제3 급속혼화조로 이송된 폐수에 알룸을 투입하여 그들을 교반하는 단계와; 상기 제3 급속혼화조 내의 폐수를 제4 급속혼화조로 이송하고, 상기 제4 급속혼화조로 이송된 폐수에 음이온 고분자응집제를 투입하여 그들을 교반하는 단계와; 상기 제4 급속혼화조 내의 폐수를 완속혼화조로 이송하고, 상기 완속혼화조로 이송된 폐수를 상기 제4 급속혼화조에서의 교반 속도보다 느린 속도로 교반하 는 단계를 포함하는 화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법
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제1항에 있어서, 침전여과조를 마련하고, 상기 완속혼화조 내의 폐수를 상기 침전여과조로 이송하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 제1 급속혼화조, 제2 급속혼화조, 및 제3 급속혼화조에서의 교반은 각각 200∼800rpm의 속도로 3∼20분 동안 진행하고, 상기 제4 급속혼화조에서의 교반은 200∼800rpm의 속도로 3∼10분 동안 진행하며, 상기 완속혼화조에서의 교반은 50∼100rpm의 속도로 20∼60분 동안 진행하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 화학적 기계적 연마공정에서 발생한 폐수에 포함된 SiO2 미립자의 농도는 2,500∼3000ppm이고, 그들을 제거하기 위한 상기 칼슘화합물의 투입량은 칼슘화합물에 포함된 칼슘의 양을 기준으로 폐수 1ℓ당 0
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제1항에 있어서, 상기 칼슘화합물은 Ca(OH)2, CaO, CaCl2, 및 CaSO4로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나로 이루어지거나, 상기 Ca(OH)2, CaO, CaCl2, 및 CaSO4로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 두 개가 혼합된 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 양이온 고분자응집제는 아크릴아마이드와 아크릴라토에틸트리메틸 암모니움클로라이드의 공중합 고분자로 이루어져 분자량이 8,000,000∼16,000,000인 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법
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제1항에 있어서, 상기 음이온 고분자응집제는 아크릴아마이드와 아크릴산나트륨의 공중합 고분자로 이루어져 분자량이 6,000,000∼14,000,000인 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법
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제2항에 있어서, 상기 침전여과조에 스테인레스 스틸로 이루어지고 5∼50㎛의 기공을 가지는 여과막이 설치되는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마의 폐수 처리 방법
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