맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

랩핑용 ＣＶＤ다이아몬드 정반 및 이의 제작방법

  • 기술번호 : KST2015120687
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기상화학증착(CVD)법으로 합성된 다이아몬드웨이퍼와 같은 난삭성 재료를 기계적 방법으로 연마시키는데 사용되는 랩핑용 CVD다이아몬드 정반 및 그 제작방법에 관한 것이다.일실시예로서 연마장치에 고정되기 위한 지지대(5) 및 다이(4)를 갖고 CVD다이아몬드 웨이퍼 등의 난삭재를 연마시키기 위한 정반으로서,상기 다이(4) 상면에 부착 고정되는 모재(3)와;상기 모재(3) 상에 CVD법으로 제작된 다이아몬드 막을 일정 크기로 절단하여 형성된 CVD다이아몬드 팁(1 또는 1a)이 다수개 배열 부착된 것을 특징으로 한다.정반, 랩핑, CVD다이아몬드, 기상화학증착
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 9/164(2013.01) B24B 9/164(2013.01)
출원번호/일자 1020000055708 (2000.09.22)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0380183-0000 (2003.04.01)
공개번호/일자 10-2002-0023466 (2002.03.29) 문서열기
공고번호/일자 (20030411) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.09.22)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울특별시노원구
2 은광용 대한민국 서울특별시중랑구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2000-0198892-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.05.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2002-0006986-36
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0221054-35
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.08.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0274250-62
7 의견서
Written Opinion		 2002.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2002-0274249-15
8 등록결정서
Decision to grant		 2003.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0054297-84
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

연마장치에 고정되기 위한 지지대(5) 및 다이(4)를 갖고 CVD다이아몬드 웨이퍼 등의 난삭재를 연마시키기 위한 정반으로서,

상기 다이(4) 상면에 부착 고정되는 모재(3)와;

상기 모재(3) 상에 CVD로 제작된 다이아몬드 막을 일정 크기로 절단하여, 정반 평면상의 면적 중 50% 이상이 되도록 부착된 CVD다이아몬드 팁(1 또는 1a)이 구성된 것을 특징으로 하는 램핑용 CVD다이아몬드 정반

2 2

제 1항에 있어서,

상기 CVD다이아몬드 팁(1 또는 1a)들의 서로 다른 두께를 보정하고 동시에 CVD다이아몬드를 상기 모재(3) 상에 홀딩하여 주도록 상기 모재(3) 상에 부착 배치되는 복수개의 홀더(2 또는 2a)가 추가된 것을 특징으로 하는 랩핑용 CVD다이아몬드 정반

3 3

제 1항에 있어서,

상기 CVD다이아몬드 팁(1 또는 1a)은 그 모양이 사각, 원형, 삼각형 중 어느 하나로 택일된 것을 특징으로 하는 랩핑용 CVD다이아몬드 정반

4 4

제 1항에 있어서,

상기 CVD다이아몬드 팁(1 또는 1a)들이 모재(3)의 전면에 배치되거나 또는 일정 폭으로 배치됨을 특징으로 하는 랩핑용 CVD다이아몬드 정반

5 5

연마장치에 지지시켜 놓기 위한 지지대를 갖는 다이 상에 다이아몬드를 구성하여 CVD다이아몬드 웨이퍼 등의 난삭재를 연마시키기 위한 랩핑용 CVD다이아몬드 정반을 제작하기 위한 방법으로서,

CVD로 제작된 다이아몬드 막을 일정한 크기로 절단하여 CVD다이아몬드 팁을 준비하는 단계와;

상기 다이의 상면에 모재를 부착시켜 놓는 단계와;

상기 모재 상에 다수의 홀더를 부착 배열시켜 놓고, 이 홀더들에 각각의 다이아몬드 팁을 삽입 고착시키는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 랩핑용 CVD 다이아몬드 정반의 제작방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.