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고경도 웨이퍼용 연마장치

  • 기술번호 : KST2015120688
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 모터(2)에 연결된 회전축(3)을 중심으로 회전하는 정반(1)과의 마찰에 의해서 고경도 웨이퍼(W)를 연마하는 장치로서, 고경도 웨이퍼(W)와 직접 접촉하여 마찰되는 부분인 연마부(1')가 고경도 웨이퍼(W)의 직경 이하의 폭을 가지도록 돌출 형성된 정반(1)과, 하나 이상의 고경도 웨이퍼(W)를 상기 연마부(1') 상에서 자전시키는 웨이퍼 자전장치와, 고경도 웨이퍼(W)가 상기 연마부(1')와 밀착되도록 압력을 가하는 웨이퍼 가압장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고경도 웨이퍼용 연마장치를 제공한다. 이러한 연마장치는 웨이퍼의 위치를 정반의 반지름 방향으로 고르게 이동시키기 위한 별도의 복잡한 장치를 설치함이 없이 정반의 구조변경과 간단한 동력전달 구조로 정반의 편마모를 방지하여 정반의 사용기간을 연장하고 연마효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/105(2013.01)
출원번호/일자 1020000055798 (2000.09.22)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2002-0023503 (2002.03.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.09.22)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재갑 대한민국 서울특별시노원구
2 은광용 대한민국 서울특별시중랑구
3 이태기 대한민국 서울특별시강남구
4 박윤창 대한민국 서울특별시성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2000-0199160-99
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.05.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2002-0006988-27
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0221055-81
6 의견서
Written Opinion		 2002.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2002-0276204-18
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.08.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0276201-82
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2003.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0054294-47
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

모터에 연결된 회전축을 중심으로 회전하는 정반과의 마찰에 의해서 고경도 웨이퍼를 연마하는 장치로서, 고경도 웨이퍼와 직접 접촉하여 마찰되는 부분인 연마부가 고경도 웨이퍼의 직경 이하의 폭을 가지도록 돌출 형성된 정반과, 하나 이상의 고경도 웨이퍼를 상기 연마부 상에서 자전시키는 웨이퍼 자전장치와, 고경도 웨이퍼가 상기 연마부와 밀착되도록 압력을 가하는 웨이퍼 가압장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고경도 웨이퍼용 연마장치

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 자전장치는 상기 정반의 회전축에 설치된 회전축 기어와, 상기 회전축 기어와 직접적으로 또는 다른 동력전달기어를 매개로 간접적으로 맞물려 회전하는 것으로서 하부면에는 고경도 웨이퍼가 부착된 웨이퍼 홀더가 삽입되어 고정될 수 있도록 하기 위한 삽입홈이 형성된 하나 이상의 웨이퍼 회전용 기어를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고경도 웨이퍼용 연마장치

3 3

제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 웨이퍼 자전장치는 상기 정반의 회전방향과 반대방향으로 고경도 웨이퍼를 자전시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고경도 웨이퍼용 연마장치

4 4

제 2 항 에 있어서, 상기 웨이퍼 가압장치는 공기압축기와, 상기 공기압축기와 호스로 연결된 공기실린더와, 상기 공기실린더에 삽입 설치되어 상기 호스로부터 공급되는 압축공기에 의해 공기실린더 외부로 신장되면서 상기 웨이퍼 회전용 기어의 상부면 중앙부를 누르는 공기피스톤을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고경도 웨이퍼용 연마장치

5 5

제 4 항에 있어서, 상기 웨이퍼 회전용 기어의 상부면 중앙부에는 상면이 오목하게 형성된 공기피스톤 접촉부를 형성하고 상기 공기피스톤의 단부는 이에 대응하도록 뾰족하게 형성하여 공기피스톤에 의한 가압이 미끄러짐 없이 원활하게 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 고경도 웨이퍼용 연마장치

6 6

제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 웨이퍼 가압장치는 정반상의 각각의 고경도 웨이퍼에 가해지는 압력이 독립적으로 제어되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고경도 웨이퍼용 연마장치

7 7

제 1 항에 있어서, 상기 정반은 레진다이아몬드 정반, 비트리파이드(vitrified) 다이아몬드 정반, 비트리파이드 CBN(cubic boron nitride)정반 그리고 다이아몬드 슬러리 공급용 주철, 동, 납, 주석 정반 중에서 선택된 하나의 정반인 것을 특징으로 하는 고경도 웨이퍼용 연마장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.