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기판 상에 다이아몬드상 카본 필름을 코팅하는 장치에 있어서, 상기 기판이 배치되는 진공 챔버, 상기 진공 챔버의 내부를 코팅에 적합한 진공 상태로 유지시키는 진공 수단, 상기 기판 위에 제1 원소로 이루어지며 소정의 두께를 갖는 제1 접착력 증진층을 적층하는 수단, 상기 제1 접착력 증진층 위에, 상기 제1 원소와 제2 원소의 혼합물로 이루어지는 제2 접착력 증진층을 적층하는 수단, 및 상기 제2 접착력 증진층 위에 상기 다이아몬드상 카본 필름을 적층하는 수단 을 포함하는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 제2 원소는 탄소이고, 상기 제1 접착력 증진층은 그 소정의 두께가 증가함에 따라 상기 다이아몬드상 카본 필름의 접착력이 증가하도록 구현된 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 원소는 주기율표 4족 내지 6족에 포함되는 원소들 중의 적어도 하나의 원소인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제3항에 있어서, 상기 제1 원소는 상기 주기율표 4족 내지 6족에 포함된 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd) 및 탄탈륨(Ta)으로부터 선택되는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제2항에 있어서, 상기 탄소는 메탄(CH4)의 분해에 의해서 얻어지는 것인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 접착력 증진층 적층 수단은 스퍼터링(sputtering)에 의해 상기 제1 접착력 증진층을 적층하는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제6항에 있어서, 상기 스퍼터링에 사용되는 스퍼터 가스는 아르곤 가스인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 제2 접착력 증진층 적층 수단은 스퍼터링에 의해 상기 제2 접착력 증진층을 적층하는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제8항에 있어서, 상기 스퍼터링 시에 사용되는 스퍼터 가스는 아르곤 가스와 탄화 수소 가스의 혼합 가스인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제9항에 있어서, 상기 탄화 수소 가스의 함량은 10∼60%인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제10항에 있어서, 상기 탄화 수소 가스의 함량은 25∼50%인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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기판 상에 다이아몬드상 카본 필름을 코팅하는 방법에 있어서, 상기 기판을 준비하는 단계, 상기 기판 위에 제1 원소로 이루어지며 소정의 두께를 갖는 제1 접착력 증진층을 적층하는 단계, 상기 제1 접착력 증진층 위에, 상기 제1 원소와 제2 원소의 혼합물로 이루어지는 제2 접착력 증진층을 적층하는 단계, 및 상기 제2 접착력 증친층 위에 상기 다이아몬드상 카본 필름을 적층하는 단계 를 포함하는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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제12항에 있어서, 상기 제2 원소는 탄소이고, 상기 제1 접착력 증진층은 그 소정의 두께가 증가함에 따라 상기 다이아몬드상 카본 필름의 접착력이 증가하도록 구현된 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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제12항에 있어서, 상기 제1 원소는 주기율표 4족 내지 6족에 포함되는 원소들 중의 적어도 하나의 원소인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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제14항에 있어서, 상기 제1 원소는 상기 주기율표 4족 내지 6족에 포함된 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd) 및 탄탈륨(Ta)으로부터 선택되는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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제13항에 있어서, 상기 탄소는 메탄(CH4)의 분해에 의해서 얻어지는 것인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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제12항에 있어서, 상기 제1 접착력 증진층 적층 단계에서, 상기 제1 접착력 증진층이 스퍼터링에 의해 적층되는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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제17항에 있어서, 상기 스퍼터링에 사용되는 스퍼터 가스는 아르곤 가스인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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제12항에 있어서, 상기 제2 접착력 증진층 적층 단계에서, 상기 제2 접착력 증진층이 스퍼터링에 의해 적층되는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 장치
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제19항에 있어서, 상기 스퍼터링 시에 사용되는 스퍼터 가스는 아르곤 가스와 탄화 수소 가스의 혼합 가스인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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제20항에 있어서, 상기 탄화 수소 가스의 함량은 10∼60%인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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제21항에 있어서, 상기 탄화 수소 가스의 함량은 25∼50%인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 방법
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다이아몬드상 카본 필름 코팅 구조물에 있어서, 기판, 상기 기판 위에 적층되며, 제1 원소로 이루어지며 소정의 두께를 갖는 제1 접착력 증진층, 상기 제1 접착력 증진층 위에 적층되며, 상기 제1 원소와 제2 원소의 혼합물로 이루어진 제2 접착력 증진층, 및 상기 제1 접착력 증친층 위에 적층된 다이아몬드상 카본 필름 을 포함하는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 구조물
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제23항에 있어서, 상기 제2 원소는 탄소이고, 상기 제1 접착력 증진층은 그 소정의 두께가 증가함에 따라 상기 다이아몬드상 카본 필름의 접착력이 증가하도록 구현된 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 구조물
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제23항에 있어서, 상기 제1 원소는 주기율표 4족 내지 6족에 포함되는 원소들 중의 적어도 하나의 원소인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 구조물
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제25항에 있어서, 상기 제1 원소는 상기 주기율표 4족 내지 6족에 포함된 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 팔라듐(Pd) 및 탄탈륨(Ta)으로부터 선택되는 다이아몬드상 카본 필름 코팅 구조물
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제24항에 있어서, 상기 탄소는 메탄(CH4)의 분해에 의해서 얻어지는 것인 다이아몬드상 카본 필름 코팅 구조물
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