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산화탄탈륨을 절연층으로 한 터널자기저항 소자

  • 기술번호 : KST2015120829
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 높은 자기저항비와 넓은 공정 범위를 갖으며 자기저항비의 고른 분포를 통해 대량생산이 용이한, 산화탄탈륨으로 이루어진 절연층을 갖는 터널자기저항(TMR) 소자 및 그의 제조 방법을 제공한다. TaO 절연층을 갖는 TMR 소자
Int. CL H01L 43/08 (2006.01)
CPC H01L 43/10(2013.01) H01L 43/10(2013.01) H01L 43/10(2013.01)
출원번호/일자 1020010051254 (2001.08.24)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2003-0017120 (2003.03.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.08.24)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송오성 대한민국 서울 강남구
2 김창경 대한민국 서울특별시강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2001-0212783-19
2 대리인 사임 신고서
Notification of resignation of agent		 2003.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2003-0164282-55
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2003-0028307-16
5 대리인 선임 신고서
Notification of assignment of agent		 2003.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2003-0260189-36
6 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2003.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2003-5136655-19
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0288074-86
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2003.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0464297-34
9 대리인 변경 신고서
Agent change Notification		 2004.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2004-0152352-62
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

강자성층(Py)/절연층/강자성층(Co) 구조를 갖고, 상기 절연층이 산화탄탈륨으로 구성된 것을 특징으로 하는 터널자기저항(TMR) 소자

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 산화탄탈륨이 Ta2O5 또는 TaOx인 것을 특징으로 하는 터널자기저항 소자

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 강자성층이 고정층 또는 자유층이나, 실리콘, IrMn, FeMn, Ta, Pt, Cu 및 CoFe으로 이루어진 군 중에서 선택된 하나 이상의 적층물질로 이루어진 층을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 터널자기저항소자

4 4

강자성층(Py) 상부에 탄탈륨을 물리적 증착법으로 성막하고, 산소플라즈마 산화법으로 기판을 음극화하고, 산소 및 아르곤 가스를 도입하여 탄탈륨 박막의 상부를 균일하게 산화시켜 산화탄탈륨막을 생성시키고, 강자성층(Co)을 증착시키는 것으로 이루어지는 터널자기저항 소자의 제조 방법

5 5

제 4 항에 있어서, 상기 산화탄탈륨막이 Ta2O5 또는 TaOx으로 이루어진 것임을 특징으로 하는 터널자기저항 소자의 제조 방법

6 6

제 4 항에 있어서, 상기 최초 금속 탄탈륨 박막의 두께를 10∼12Å 이내로 성막하는 것을 특징으로 하는 터널자기저항 소자의 제조방법

7 7

제 4 항에 있어서, 상기 플라즈마 산화 시간을 1000초 이내로 수행하는 것을 특징으로 하는 터널자기저항 소자의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.