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도판트가 첨가된 아연산화물 박막이 증착된 기판을 열처리 반응기에 장입하여 가스 분위기에서 급속 열처리 함을 특징으로 하는 청색발광 ZnO 박막형광체의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 기판은 실리콘이나 사파이어 단결정 중에서 어느 하나로 이루어 진 것을 특징으로 하는 청색발광 ZnO 박막형광체의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 아연산화물 박막은 산화 알루미늄이 1-3% 무게비율만큼 첨가된 산화아연을 타겟으로 RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 제조됨을 특징으로 하는 청색발광 ZnO 박막형광체의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 열처리 반응기 내의 온도를 초당 1~100℃로 상승시킴을 특징으로 하는 청색발광 ZnO 박막형광체의 제조방법
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청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,상기 열처리 반응기 내의 온도를 600~1000℃에서 3초~20분간 유지시킴을 특징으로 하는 청색발광 ZnO 박막형광체의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 가스는 수소인 것을 특징으로 하는 청색발광 ZnO 박막형광체의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 도판트는 알루미늄, 인듐, 갈륨 중에서 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 청색발광 ZnO 박막형광체의 제조방법
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