| 요약 |
본 발명은 적외선 감지소자용 고특성 나노 박막의 제조방법에 관한 것이다. 특히, 샌드위치 구조의 나노 사이즈 박막의 두께 조절과 저온 열처리에 의한 산소 확산을 통하여 비냉각형 적외선 감지소자에서 적외선 감지층으로 사용되는 산화바나듐 박막의 특성인 TCR값과 저항값의 전기적 특성을 획기적으로 개선시킬 수 있는 새로운 나노 박막의 제조방법에 관한 것이다.산화바나듐 박막의 경우 제조 공정 상의 여러가지 변수로 인해 재현성 있는 박막의 증착이 어려우며, 또한 표면 미세가공기술을 이용한 비냉각형 적외선 감지소자 제작시 공정온도가 300℃ 이하로 제한되는 등 좋은 전기적 특성을 얻기에는 여러 공정상의 단점이 있다. 따라서, 지금까지 -1.5 ~ 2 %/℃ TCR값과 수십 ㏀ 이상의 저항값을 얻고 있으나, 적외선 감지소자의 감지도를 향상시키기 위해서는 -2 %/℃ 이상의 TCR값과 수십 ㏀ 이하의 저항값을 갖는 산화바나듐 박막의 제조가 요구된다.이에, 본 발명은 산화바나듐막을 각각 상,하부층으로 하고, 금속막을 삽입층으로 하는 샌드위치 형태의 나노 박막 구조를 형성한 후, 산소분위기에서 열처리 공정을 통하여 하부층의 산화바나듐막이 금속층으로 산소 확산에 의해 환원되어 혼합 상이 되며, 상기 금속막이 표면과 하부층으로부터 확산된 산소에 의해 혼합 상으로 산화되어 박막 전체적으로 높은 TCR값에 기여하는 VO2,V2O5 와 낮은 저항값에 기여하는 V2O3상의 혼합 상(phase)을 갖는 나노 박막의 제조방법을 제시한다.적외선 감지소자, 산화바나듐막, 나노 박막, 미세가공기술, 혼합 상, 샌드위치 구조
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