미소 전자 기계 구조(MEMS) 발전기에 있어서,

고온 열원과 연결된 가열판층,

상기 가열판층과 동일한 레벨에서 상기 가열판층을 둘러싸도록 배치되는 하부층과, 상기 하부층 양단에서 상측으로 연장되어 그 사이에 일정한 공간을 형성하는 벽층으로 이루어진 제1 단열층,

상기 벽층의 상면에 형성되어 상기 하부층, 상기 가열판층 및 상기 벽층과 함께 밀폐된 유체실을 형성하며, 그 중앙부가 상·하로 이동 가능한 박막층,

상기 유체실 내에 상기 가열판층에 노출되도록 수용되는 유체,

상기 박막층과 함께 협력하여 상기 유체의 열에너지를 전기 에너지로 변환하기 위한 에너지 변환 수단층,

상기 변환 수단층과 상기 박막층과의 사이에 상기 유체실의 단열을 위해 형성되는 제2 단열층, 그리고

상기 변환 수단층 위에 형성되어 상기 유체실 상부를 냉각하기 위한 냉각판층을 포함하는 미소 전자 기계 구조 발전기

제1항에 있어서,

상기 변환 수단층은 상기 중앙부의 상·하 이동시에 가압될 수 있는 위치에 형성된 압전 물질층인 것을 특징으로 하는 미소 전자 기계 구조 발전기

제1항에 있어서,

상기 변환 수단층은 상기 박막층의 상기 중앙부의 상면에 형성된 영구자석층과, 상기 박막층이 최상측으로 이동하였을 때, 상기 영구자석층과 소정의 거리를 유지하도록 배치되는 코일층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미소 전자 기계 구조 발전기

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제1항에 있어서,

상기 가열판층은 구리, 알루미늄, 금을 포함하는 그룹으로부터 선택된 하나의 재료로 된 것을 특징으로 하는 미소 전자 기계 구조 발전기

제1항에 있어서,

상기 냉각판층은 구리, 알루미늄, 금을 포함하는 그룹으로부터 선택된 하나의 재료로 된 것을 특징으로 하는 미소 전자 기계 구조 발전기