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하우징,상기 하우징에 배치되어 있고 고온 열원에 연결된 가열수단,상기 가열수단에 대향되는 위치의 상기 하우징에 배치되어 있고 저온 냉원에 연결된 냉각수단,상기 냉각수단으로부터 이격된 상태의 제1 위치와 상기 냉각수단에 접촉한 상태의 제2 위치 사이에서 이동 가능하며 제2 위치에서 상기 냉각수단으로 열을 전달할 수 있는 냉각 전열판,상기 냉각 전열판을 지지하며 상기 냉각 전열판이 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동하는 동안 변형 가능하며 변형될 때 마다 전류를 발생하는 상부 박막,상기 냉각 전열판과 연결로드에 의해 결합되어 일정한 거리를 유지하도록 구성되어 있고 상기 냉각 전열판이 상기 제1 위치에 있을 때 상기 가열수단에 접촉한 상태로 되고 상기 냉각 전열판이 상기 제2 위치에 있을 때 상기 가열수단으로부터 이격된 상태인 가열 전열판,상기 가열 전열판을 지지하며 상기 가열 전열판이 이동하는 동안 변형 가능하며 변형될 때 마다 전류를 발생하는 하부 박막, 그리고상기 상부 박막과 상기 하부 박막 사이의 공간을 측면에서 폐쇄하여 상기 냉각 전열판 및 상기 가열 전열판과 함께 유체를 수용하는 밀폐 공간을 형성하며 상기 냉각 전열판이 상기 제1 위치에 있을 때 보다 상기 제2 위치에 있을 때 더 큰 공간을 갖도록 하는 형상을 갖는 측면 단열수단을 포함하는 마이크로 시스템용 발전기
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제1항에 있어서, 상기 상부 박막과 상기 하부 박막 중 하나 이상은 압전재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 시스템용 발전기
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제1항에 있어서, 상기 유체는 액체인 것을 특징으로 하는 마이크로 시스템용 발전기
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제1항에 있어서,상기 유체는 기체인 것을 특징으로 하는 마이크로 시스템용 발전기
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제1항에 있어서, 상기 측면 단열수단은 상기 하부 박막으로부터 상기 상부 박막으로 갈수록 상기 하우징의 중심으로부터 후퇴된 위치가 되도록 경사진 것을 특징으로 하는 마이크로 시스템용 발전기
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제1항에 있어서, 상기 박막은 바이 스테이블 좌굴 동작을 하는 것을 특징으로 하는 마이크로 시스템용 발전기
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제1항에 있어서, 상기 박막은 바이 스테이블 좌굴 동작을 하는 것을 특징으로 하는 마이크로 시스템용 발전기
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