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HgCdTe 적외선 감지 소자의 표면 보호막의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015121058
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 HgCdTe 반도체를 사용하여 광전압형 적외선 감지 소자를 제작할 때 ZnS, CdS 등 황(S) 원소를 포함하는 물질로 표면 보호막을 형성할 때 기판의 표면 처리를 통하여 양질의 전기적 특성을 갖는 표면 보호막을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 표면 보호막 형성 방법은 HgCdTe 반도체 표면을 습식 식각하여 반도체 표면 상의 자연 산화막을 제거하는 단계, 습식 식각 처리된 HgCdTe 반도체 표면을 황 함유 용액으로 표면 처리하여 표면에 황화물질층을 형성하는 단계 및 상기 황화물질층이 형성된 표면 상에 ZnS 또는 CdS를 증착시켜 표면 보호막을 형성시키는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, HgCdTe를 이용한 광전압형 소자의 제작시 표면 누설전류를 크게 줄일 수 있는 양질의 표면 보호막을 얻을 수 있다. 적외선 감지 소자, 표면 보호막, ZnS, CdS, HgCdTe, 황 함유 용액
Int. CL G01J 1/02 (2006.01)
CPC G01J 1/0271(2013.01) G01J 1/0271(2013.01) G01J 1/0271(2013.01)
출원번호/일자 1020040047423 (2004.06.24)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0543490-0000 (2006.01.09)
공개번호/일자 10-2005-0122342 (2005.12.29) 문서열기
공고번호/일자 (20060123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.06.24)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진상 대한민국 서울특별시 동작구
2 서상희 대한민국 서울특별시 마포구
3 김영환 대한민국 서울특별시 노원구
4 정연식 대한민국 경상북도 구미시
5 안세영 대한민국 경기도 의정부시 가
6 정용철 대한민국 전라남도 순천시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2004-0273451-33
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.10.19 수리 (Accepted) 9-1-2005-0067840-57
4 등록결정서
Decision to grant
2005.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0663506-29
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
HgCdTe 반도체 표면을 습식 식각하여 반도체 표면 상의 자연 산화막을 제거하는 단계, 습식 식각 처리된 HgCdTe 반도체 표면을 황 함유 용액으로 표면 처리하여 표면에 황화물질층을 형성하는 단계 및 상기 황화물질층이 형성된 표면 상에 ZnS 또는 CdS를 증착시켜 표면 보호막을 형성시키는 단계 를 포함하는, HgCdTe 반도체의 표면 보호막을 형성하는 방법
2 2
제1항에 있어서, 황 함유 표면 처리 용액이 (HN4)2Sx, (HN4)2Sx-CH3OH 또는 (HN4)2Sx-H2O인 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 증착이 열증착 반응기, 전자선 증착반응기, 라디오 주파수의 스퍼터링 증착반응기 또는 양극 황화법에 의해 수행되는 것인 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 황화물질층이 HgCdTe 표면 상의 Hg-S 또는 Cd-S의 결합에 의해 형성되는 것인 방법
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 따라 HgCdTe 반도체 표면에 표면 보호막을 형성하는 단계를 포함하는, HgCdTe 반도체 다이오드 소자의 제조 방법
6 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 따라 HgCdTe 반도체 표면에 표면 보호막을 형성하는 단계를 포함하는, HgCdTe 반도체 다이오드 소자의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.