요약 | 본 발명은, 압전 특성을 갖는 복수의 압전체와, 상기 압전체 상하의 면 상에 상기 압전체의 가장자리에 닿는 종단부에 반원형상의 일정 공간을 남기도록 각각 구비된 상부전극 및 하부전극과, 상기 상부전극 및 하부전극의 일정 공간에 각각 인접하도록 상기 각각의 압전체 내에 배치되고, 상기 일정 공간을 한정하는 상기 상부전극 및 하부전극의 종단부의 선의 형상에 대응하고 일정 폭을 가지는 밴드 형상으로 이루어진 한 쌍의 금속성 부유전극을 포함하는 압전 적층 액추에이터를 제공한다. 부유전극은, 상기 일정 공간을 한정하는 상기 상부전극 및 하부전극의 종단부의 선과 상기 부유전극의 상기 폭 방향의 중심선이 동일 수직선 상에 위치하도록 상기 압전체 상에 배치된다. 압전, 액추에이터, 전극, 부유, 밴드, 응력 |
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Int. CL | H01L 41/08 (2006.01) |
CPC | H01L 41/0838(2013.01) H01L 41/0838(2013.01) H01L 41/0838(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020040042532 (2004.06.10) |
출원인 | 한국과학기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-0612800-0000 (2006.08.08) |
공개번호/일자 | 10-2005-0117271 (2005.12.14) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20060818) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2004.06.10) |
심사청구항수 | 4 |