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진공 플라즈마 챔버 또는 그 내부에 장착되는 부품을 모재로 하여, 상기 모재를 전해액에 침지하고, 상기 모재에 고전압의 직류 전류를 가하여 모재 표면에 지속적으로 마이크로 아크 또는 플라즈마를 형성하면서 산화물 코팅막을 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 모재에 인가되는 고전압은 200V 이상인 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 전해액은 수산화 칼륨 또는 수산화 나트륨과 같은 수산화 알칼리 금속의 수용액, 알칼리 금속의 산소산염을 포함하는 용액, 또는 Na2SiO3, NaAl2, H2SO4, NaF-Na2CO3 등을 포함하는 용액 중에서 선택되는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 코팅막은 Al2O3, ZrO2, MgO, TiO2 또는 이들을 포함하는 복합체인 것을 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 모재에 코팅막을 형성하기 전에 물리적/화학적 세정(cleaning), 표면 거칠기 형성 등의 전처리 공정을 수행하거나, 코팅막 형성후 연마 또는 표면 거칠기 형성 등의 후처리 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 고전압의 직류 전류는 완전 직류, 반파 정류한 직류, 직류와 교류를 결합하여 형성된 변형 직류 전류를 포함하는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 모재가 대면적인 경우, 둘 이상의 부분으로 나누어 각각에 코팅막을 형성한 후, 각 부분을 결합하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 각 부분은 코팅층 형성 후 체결이 용이하도록 결합부에 단차, 홈, 키홀을 구비하거나 이음매 부분에 제3의 보호물을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제1항에 있어서, 코팅막 형성 후, 코팅막 내부의 기공을 불화금속염, 유기산염, Si, SiO2, 폴리머 등의 이종 물질로 충진하는 단계를 추가로 포함하는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 모재가 대면적인 경우, 모재의 일부분을 마스킹하여 1차로 코팅하고, 마스킹된 부분을 2차로 코팅하는 순차적인 방법에 의하여 코팅막을 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법
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제1항에 의하여 제조된 진공 플라즈마 챔버용 코팅막
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제1항에 의하여 제조된 진공 플라즈마 챔버용 코팅막
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