| 1 |
1
판재로 이루어지고, 상기 판재를 관통하는 복수개의 구멍을 구비하며, 상기 복수개의 구멍은 규칙성을 갖고 배열된 가스 분배판;이 두개 이상 적층된 것이고, 상기 적층된 가스 분배판 중 인접하는 두 개의 가스 분배판의 구멍의 위치가 서로 다르며, 상기 적층된 가스 분배판중 어느 하나 또는 둘 이상의 가스 분배판의 일측 표면 또는 양측 표면에, 상기 구멍과 별도로, 상기 분배판의 두께보다 작은 깊이를 갖는 가스 흐름 채널이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 채널은, 상기 가스 분배판에 형성된 구멍과 구멍 사이를 지나도록 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서, 상기 채널은 상기 표면에 에칭된 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 5 |
5
제 1 항, 제 3 항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 분배기는, 상기 적층된 가스 분배판중 인접하는 두개의 분배판의 사이에, 다공성 부재와 망형상의 부재가 각각 단독으로 또는 함께, 하나 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서, 상기 가스 분배기는, 상기 다공성 부재의 일측 표면 또는 양측 표면에 가스 흐름 채널이 압착되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 7 |
7
제 5 항에 있어서, 상기 가스 분배기는, 상기 가스 분배기의 형상이 평판형 또는 원통형인 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 8 |
8
제 1 항, 제 3 항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 분배기는, 상기 가스 분배기의 형상이 평판형 또는 원통형인 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
원형 판재로 이루어지고, 상기 원형 판재의 중심을 관통하는 하나의 구멍을 구비하는 가스 분배판;이 두개 이상 동심을 갖도록 적층된 것이고, 상기 적층된 분배판의 인접하는 두개의 분배판중 어느 하나의 분배판의 일측표면 또는 양측표면에 상기 구멍과 별도로 가스 흐름 채널이 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서, 상기 채널은, 직선형 또는 방사상의 곡선형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 13 |
13
제 12 항에 있어서, 상기 채널은, 상기 표면에 에칭된 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 14 |
14
제 11 항 내지 제 13 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 분배기는, 상기 적층된 가스 분배판중 인접하는 두개의 분배판의 사이에, 원형 다공성 부재나 원형 망형상의 부재가 단독으로 또는 함께, 동심을 갖도록 하나 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 15 |
15
원형 판재로 이루어지고, 상기 원형 판재의 중심을 관통하는 하나의 구멍을 구비하는 가스 분배판;이 두개 이상 동심을 갖도록 적층된 것이고, 상기 적층된 가스 분배판중 인접하는 두개의 분배판의 사이에, 원형 다공성 부재나 원형 망형상의 부재가 단독으로 또는 함께, 동심을 갖도록 하나 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 16 |
16
제 15 항에 있어서, 상기 가스 분배기는, 상기 다공성 부재의 일측 또는 양측 표면에 가스 흐름 채널이 압착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
| 17 |
16
제 15 항에 있어서, 상기 가스 분배기는, 상기 다공성 부재의 일측 또는 양측 표면에 가스 흐름 채널이 압착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 분배기
|
