요약 | 본 발명은 내산화성이 우수한 표면 피복용 박막에 관한 것으로서, TixAl1-xN 막층(0≤x≤0.5, 이하 "TiAlN 막층"이라 함)과 CrN 막층으로 구성된 박막 단위체를 하나 이상 포함하여 TiAlN 막층과 CrN 막층이 교대로 반복 적층된 다층 구조를 갖는 박막이다. 이는 내산화성이 매우 우수하여 얇은 두께로 코팅하여도 고온에서 내산화막으로 응용 가능하고 경도값과 내마모 특성도 우수하여 경질 피복 박막으로도 응용 가능하므로, 대기 중 고온 하에 노출되는 여러 기계 부품, 용융 글래스 및 용융 알루미늄 용 금형, 공구 및 얇은 코팅층을 필요로 하는 정밀, 미세 부품, 공구등의 피복 소재로 응용이 가능하다.내산화성, 박막, CrN, TiAlN, 경도, 물리증착법, 피복 |
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Int. CL | C23C 28/00 (2006.01) C23C 30/00 (2006.01) |
CPC | C23C 28/00(2013.01) C23C 28/00(2013.01) C23C 28/00(2013.01) C23C 28/00(2013.01) C23C 28/00(2013.01) C23C 28/00(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020060037973 (2006.04.27) |
출원인 | 한국과학기술연구원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2007-0105614 (2007.10.31) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 거절 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2006.04.27) |
심사청구항수 | 1 |