맞춤기술찾기

이전대상기술

마이크로 발전기 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015121179
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 발전기 및 그 제조방법에 관한 것으로, 마이크로 발전기의 제조 방법으로서, 바닥 가열면을 마련하는 단계와; 상기 바닥 가열면 위에 포토레지스트를 도포하여 소프트 베이킹하는 단계와; 포토레지스트 위에 마스크를 위치시키고 자외선에 노출시키는 단계와; 노광 전 열처리한 후 상기 포토레지스트를 현상액에 담궈서 상기 포토레지스트 벽면 구조물 및 마이크로 캐비티를 현상하는 단계와; 상기 마이크로 캐비티에 마이크로 입자를 적층하는 단계와; 상기 바닥 가열면에 측벽을 장착하고 일측의 측벽에 캔티레버 빔을 장착하는 단계와; 상기 측벽에 상부 덮개를 장착하여 내부를 밀봉하는 단계;를 포함하여, 포토 리쏘그래피(photo lithography)만으로 간단하고 저렴하게 마이크로 캐비티를 제작할 수 있는 마이크로 발전기 및 그 제조 방법을 제공한다.마이크로 발전기, 마이크로 캐비티, 마이크로 포러스 캐비티
Int. CL H02K 57/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01)
CPC B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01)
출원번호/일자 1020060038176 (2006.04.27)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0761661-0000 (2007.09.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071002) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.27)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 장영수 대한민국 서울 동대문구
2 이헌주 대한민국 경기 용인시 구
3 이윤표 대한민국 서울 강남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0297543-66
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2006-0080112-22
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0030856-94
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.03.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0218781-75
6 의견서
Written Opinion
2007.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2007-0218779-83
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2007.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0343417-16
8 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2007.07.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2007-0030211-15
9 등록결정서
Decision to grant
2007.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0493029-33
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
바닥 가열면을 마련하는 단계와;상기 바닥 가열면 위에 포토레지스트를 도포하여 소프트 베이킹하는 단계와;포토레지스트 위에 마스크를 위치시키고 자외선에 노출시키는 단계와;노광 전 열처리한 후 상기 포토레지스트를 현상액에 담궈서 상기 포토레지스트 벽면 구조물 및 마이크로 캐비티를 현상하는 단계와;상기 마이크로 캐비티에 마이크로 입자를 적층하는 단계와;상기 바닥 가열면에 측벽을 장착하고 일측의 측벽에 캔티레버 빔을 장착하는 단계와;상기 측벽에 상부 덮개를 장착하여 내부를 밀봉하는 단계;를 포함하며,상기 포토레지스트 벽면 구조물 및 마이크로 캐비티를 현상하는 단계는, 상기 마이크로 캐비티의 위치와 높이를 용이하게 제어하기 위해 상기 포토레지스트를 상기 마이크로 캐비티의 벽면 구조물로 이용하는 것을 특징으로 하는 마이크로 발전기의 제조 방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 마이크로 캐비티의 벽면 구조물은 수직으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 발전기의 제조 방법
4 4
제 2항에 있어서,상기 마이크로 캐비티에 적층되는 마이크로 입자는 접합제 또는 운반액체에 의해 혼합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 발전기의 제조 방법
5 5
제 3항에 있어서,상기 마이크로 캐비티의 벽면 구조물의 높이는 150 ㎛ 내지 600 ㎛인 것을 특징으로 하는 마이크로 발전기의 제조 방법
6 6
제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 마이크로 캐비티의 직경은 200 ㎛ 내지 600 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 마이크로 발전기의 제조 방법
7 7
제 5항에 있어서,상기 마이크로 캐비티의 벽면 구조물의 높이는 도포되는 포토레지스트의 두께에 의해서 조절되는 것을 특징으로 하는 마이크로 발전기의 제조 방법
8 8
제 2항에 있어서,상기 마스크의 마이크로 캐비티가 위치할 부분에는 마이크로 캐비티 크기의 검은색이 표시되고 다른 부분은 투명한 것을 특징으로 하는 마이크로 발전기의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.