맞춤기술찾기

이전대상기술

폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법

  • 기술번호 : KST2015121184
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법에 관한 것으로서, 금속박막을 증착하기 이전에 수 ~ 수백 keV의 에너지를 갖는 고 선속 금속이온 조사(high flux metal ion irradiation)를 통한 폴리머 모재의 표면 세정(surface cleaning), 이온빔의 에너지 전달에 의한 상기 모재의 표면 개질(surface modification), 금속이온주입에 의한 계면 원자간 친화력 활성층 형성 등의 효과와 연속 일괄 증착공정을 통해 금속박막을 형성함으로써, 증착된 금속박막간의 계면 접착력(interface adhesion)의 향상은 물론, 별도의 화학세정 전처리 공정을 수행하지 않아도 되므로 공정 단순화를 도모할 수 있는 폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법에 관한 것이다. 폴리머 모재, 금속박막 증착방법, 표면 세정, 표면 개질, 고 선속 이온원, 계면 접착성
Int. CL C23C 14/48 (2006.01)
CPC C23C 14/48(2013.01) C23C 14/48(2013.01) C23C 14/48(2013.01) C23C 14/48(2013.01) C23C 14/48(2013.01)
출원번호/일자 1020060033717 (2006.04.13)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0802986-0000 (2008.02.04)
공개번호/일자 10-2007-0102066 (2007.10.18) 문서열기
공고번호/일자 (20080214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.13)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 송종한 대한민국 서울 동작구
2 최원국 대한민국 서울 양천구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2006-0257833-75
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.11.28 수리 (Accepted) 9-1-2006-0077400-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0002361-05
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0179462-66
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2007-0233923-69
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0331337-90
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2007-0402287-48
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0486020-12
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2007.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2007-0554543-18
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.09.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0639091-98
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2007-0639093-89
13 등록결정서
Decision to grant
2008.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0000347-53
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
고전압이 인가되는 고 선속 금속이온원으로부터 생성된 금속이온을 폴리머 모재에 조사하여 그 폴리머 모재의 표면을 세정하되, 상기 고 선속 금속이온원에서 금속이온 인출시 진공도는 5 ×10-6 Torr로 금속이온을 인출하며, 10 ~ 100keV 내외의 에너지를 지닌 금속이온을 이온선량 1 ×1015/cm2 ~ 1 ×1018/cm2 영역에서 조사하는 제1단계;상기 금속이온과 상기 폴리머 모재의 폴리머 원자간의 탄성 산란을 통한 폴리머 표면의 탄소화 효과에 의하여 상기 폴리머 모재의 표면을 개질하는 제2단계; 상기 금속이온의 연속적인 조사를 통해 상기 개질된 폴리머 모재의 표면에 금속이온 주입층을 형성하는 제3단계; 상기 금속이온 주입층 위에 금속박막을 증착하는 제4단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서,상기 폴리머 모재는 폴리카보네이트, PA(poly amide), ABS(acrylonitrile butadiene styrene), PMMA(poly methyl methacrylate), PI(poly imide), PS(poly styrene), MPPO(modifide polyphenylene oxide), POM(poly oxy methylene) 및 PE(poly ethylene) 중에서 선택된 것을 특징으로 하는 폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 제4단계는 스퍼터링 증착 및 열 증착공정 중, 선택된 어느 하나 또는 융합된 공정을 통해 금속박막을 증착하는 것을 특징으로 하는 폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 제 4 단계를 통해 금속 및 비금속 또는 산화물, 질화물을 형성하는 것을 특징으로 하는 폴리머 모재 상의 금속박막 증착방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2007119905 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2007119905 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.