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다공성 박막 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015121314
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연료전지, 배터리, 커패시터, 또는 가스센서용 다공성 전극이나 다공성 집전체로 사용 가능한 다공성 박막 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 박막 증착 공정을 이용하여 반응성 가스를 박막 재료와 함께 증착하여 박막을 형성한 후, 열처리를 통하여 상기 박막으로부터 상기 반응성 가스를 제거하고 상기 박막을 결정화하여 다공성 박막을 얻는 것을 특징으로 하는 다공성 박막의 제조 방법을 제공한다. 이 경우, 상기 박막의 두께 및/또는 상기 열처리의 조건을 조절하여 상기 다공성 박막의 기공률과 기공 크기를 간단하게 조절할 수 있다. 특히, 본 발명은 고온에서 작동하는 고체산화물 연료전지에 사용할 수 있도록 고온에서도 다공질의 구조를 갖는 귀금속 박막 전극을 제공한다.다공성 박막, 귀금속 박막 전극, 연료전지, 반응성 가스, 열처리
Int. CL C23C 14/00 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01)
CPC C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01)
출원번호/일자 1020070070867 (2007.07.13)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0007168 (2009.01.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.13)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김주선 대한민국 경기도 고양시 일산구
2 이해원 대한민국 서울특별시 동대문구
3 이종호 대한민국 서울특별시 광진구
4 최선희 대한민국 대구 수성구
5 조태신 대한민국 경기 용인시 수지구
6 오건석 대한민국 서울 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0513458-29
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.04.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0021842-96
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0054597-94
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0165555-57
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
박막 증착 공정을 이용하여 반응성 가스를 박막 재료와 함께 증착하여 박막을 형성한 후, 열처리를 통하여 상기 박막으로부터 상기 반응성 가스를 제거하고 상기 박막을 결정화하여 다공성 박막을 얻는 것을 특징으로 하는 다공성 박막의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 박막 증착 공정은 스퍼터링법, 기상 증착법, 이온 플레이팅법 및 PLD (Pulsed Laser Deposition)법 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다공성 박막의 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 반응성 가스는 산소, 질소 및 수소 중에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다공성 박막의 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 박막 재료는 Pt, Au, Cu, Ni, Ag 및 Ru 중에서 선택된 적어도 어느 하나이거나, 혹은 벌크형 SOFC (Solid Oxide Fuel Cell)의 전극 또는 집전체로 사용되는 물질인 것을 특징으로 하는 다공성 박막의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 열처리는 공기 또는 H2 분위기에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 다공성 박막의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 박막의 두께와 상기 열처리의 조건 중 적어도 하나를 조절하여 상기 다공성 박막의 기공률과 기공 크기를 조절하는 것을 특징으로 하는 다공성 박막의 제조 방법
7 7
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 다공성 박막
8 8
제7항에 있어서, 상기 다공성 박막은 연료전지의 전극 또는 집전체로 사용되거나, 혹은 배터리, 커패시터 또는 가스센서의 전극으로 사용되는 것을 특징으로 하는 다공성 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.