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유연 압전 폴리머 기판과;
상기 유연 압전 폴리머 기판의 양면에 전극 물질을 진공 증착하여 전극 박막을 형성하고 상기 전극 박막을 상온 건식 레이저 조사 식각 공정을 통해 패턴화하여 형성한 전극 패턴과;
상기 전극 패턴 위에 적층 형성된 발광층과;
상기 발광층 위에 적층 형성된 상부 전극;
을 포함하고,
상기 발광층이 적층된 상기 전극 패턴 및 상기 발광층 위에 적층된 상부 전극을 전기 도선으로 사용하는 디스플레이 소자와, 기판 양면의 전극을 전기 도선으로 사용하는 진동발생 또는 진동감지용 소자가 상기 기판을 공유하는 일체형 유닛을 형성하여 구성되며,
상기 전극 패턴 위에 적층 형성된 나노입자가 함유된 전도성 고분자층과;
상기 전도성 고분자층 위에 적층 형성된 상부 전극;
을 더 포함하고, 상기 전도성 고분자층이 적층된 상기 전극 패턴 및 상기 전도성 고분자층 위에 적층된 상부 전극을 전기 도선으로 사용하는 메모리 소자가, 상기 디스플레이 소자와 상기 진동발생 또는 진동감지용 소자와 함께 상기 기판을 공유하는 일체형 유닛을 형성하여 구성된 것을 특징으로 하는 압전 폴리머 기판을 이용한 하이브리드 전기소자
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청구항 2에 있어서, 상기 기판이 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF) 기판인 것을 특징으로 하는 압전 폴리머 기판을 이용한 하이브리드 전기소자
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청구항 2에 있어서, 상기 기판 위에 적층 형성된 추가적인 전극과, 상기 추가적인 전극 위에 적층 형성된 절연층이, 상기 기판과 상기 전극 패턴 사이에 추가 개재되고, 상기 추가적인 전극이 상기 진동발생 또는 진동감지용 소자의 전기 도선이 되는 것을 특징으로 하는 압전 폴리머 기판을 이용한 하이브리드 전기소자
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유연 압전 폴리머 기판의 양면에 전극 물질을 진공 증착하여 전극 박막을 형성하고 상기 전극 박막을 상온 건식 레이저 조사 식각 공정을 통해 패턴화하여 전극 패턴을 형성하는 단계와;
상기 전극 패턴 위에 발광층을 적층 형성하는 단계와;
상기 발광층 위에 상부 전극을 적층 형성하는 단계;
를 포함하고, 상기 발광층이 적층된 상기 전극 패턴 및 상기 발광층 위에 적층된 상부 전극을 전기 도선으로 사용하는 디스플레이 소자와, 기판 양면의 전극을 전기 도선으로 사용하는 진동발생 또는 진동감지용 소자가 상기 기판을 공유하는 일체형 유닛으로 구성하며,
상기 전극 패턴 위에 나노입자가 함유된 전도성 고분자층을 적층 형성하는 단계와;
상기 전도성 고분자층 위에 상부 전극을 적층 형성하는 단계;
를 더 포함하고, 상기 전도성 고분자층이 적층된 상기 전극 패턴 및 상기 전도성 고분자층 위에 적층된 상부 전극을 전기 도선으로 사용하는 메모리 소자가, 상기 디스플레이 소자와 상기 진동발생 또는 진동감지용 소자와 함께 상기 기판을 공유하는 일체형 유닛으로 구성하는 것을 특징으로 하는 압전 폴리머 기판을 이용한 하이브리드 전기소자의 제조방법
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청구항 8에 있어서, 상기 기판이 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF) 기판인 것을 특징으로 하는 압전 폴리머 기판을 이용한 하이브리드 전기소자의 제조방법
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청구항 8에 있어서, 상기 기판 위에 적층 형성된 추가적인 전극과, 상기 추가적인 전극 위에 적층 형성된 절연층을, 상기 기판과 상기 전극 패턴 사이에 개재하여, 상기 추가적인 전극이 상기 진동발생 또는 진동감지용 소자의 전기 도선이 되도록 한 것을 특징으로 하는 압전 폴리머 기판을 이용한 하이브리드 전기소자의 제조방법
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