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SiO2, B2O3, Al2O3, 알칼리토류 산화물 및 알칼리 금속산화물을 함유하는 보로실리케이트 유리프리트 44 ~ 65 중량%;
Al2O3, SiO2, 3Al2O3· 2SiO2, (Mg,Fe3+)2Al4Si5O18, MgAl2O4, MgSiO3, Mg2SiO4, MgB2O4, SrSiO3, SrAl2Si2O8, SrB2O4, ZnAl2O4, 및 ZrSiO4 중에서 선택된 단종 또는 2 종 이상의 충전재 34 ~ 55 중량%; 및
ZrO2, TiO2, La2O3 및 WO3 중에서 선택된 단종 또는 2 종 이상의 핵 형성제 0
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제 1 항에 있어서, 상기 보로실리케이트 유리프리트는
평균입도 1 ~ 4 ㎛인 것을 특징으로 하는 저온소성용 저유전율 세라믹 유전체 조성물
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제 1 항 또는 제 2 항의 상기 세라믹 유전체 조성물을 800℃ ~ 950℃에서 저온소성시켜 제조한 저유전율 세라믹 유전체
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제 3 항에 있어서,
유전율 4
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제 4 항에 있어서,
월라스토나이트, 팬키나이트, 라마이트, 해트루라이트, 다이옵사이드, 애노사이트 중에서 선택된 단종 또는 2 종 이상의 결정상을 포함하는 것을 특징으로 하는 저유전율 세라믹 유전체
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SiO2, B2O3, Al2O3, 알칼리토류 산화물 및 알칼리 금속산화물을 건식혼합 후, 1450 ~ 1650 ℃에서 용융하고 급냉하여 유리를 얻는 제 1 단계;
상기 유리를 조분쇄 및 미분쇄시켜서 평균입도 1 ~ 4 ㎛ 크기를 갖는 보로실리케이트 유리프리트를 얻는 제 2 단계;
Al2O3, SiO2, 3Al2O3· 2SiO2, (Mg,Fe3+)2Al4Si5O18, MgAl2O4, MgSiO3, Mg2SiO4, MgB2O4, SrSiO3, SrAl2Si2O8, SrB2O4, ZnAl2O4, 및 ZrSiO4 중에서 선택된 단종 또는 2 종 이상의 혼합물을 분쇄하여 혼합 분말을 얻은 후, 이를 1,000 ~ 1,200℃ 범위에서 2 ~ 3 시간 공기 중에서 하소시켜서 충전재를 얻는 제 3 단계; 및
상기 보로실리케이트 유리프리트와 상기 충전재 및 ZrO2, TiO2, La2O3 및 WO3 중에서 선택된 단종 또는 2 종 이상의 핵 형성제를 혼합한 후, 이를 800 ~ 950℃에서 소성시키는 제 4 단계;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 저유전율 세라믹 유전체의 제조방법
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