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증착 반응조 내에서 증류수에 클로로플라티닉산(H2PtCl6xH2O)를 녹여 수용액 전해질을 제조하는 단계(단계 1);
상기 증착 반응조의 수용액에 기준전극(reference electrode), 상대전극(counter electrode) 및 작업전극(working electrode)으로서의 지지체를 을 침지하는 단계(단계 2); 및
상기 작업전극에 대하여 전압을 인가하여 백금(Pt)을 전착하는 단계(단계 3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전착법을 이용한 백금박막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제조방법은 상기 단계 2에서 작업전극으로서의 지지체를 침지하기 전에 상기 지지체를 세척하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전착법을 이용한 백금박막의 제조방법
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제 2항에 있어서, 상기 지지체를 세척하는 단계는 지지체를 연마용 페이퍼로 연마하고, 3차 증류수로 세척한 후, 이를 염산용액으로 에칭하고, 다시 3 차 증류수를 이용하여 초음파세척하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 전착법을 이용한 백금박막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 제조방법은 상기 단계 3에서 백금박막이 형성된 지지체를 증착 반응조로부터 꺼내어 3차 증류수로 세척하고, 60 내지 70 ℃의 물에 1 내지 3 시간동안 침지시킨 후, 이를 꺼내어 3차 증류수로 세척하고 아르곤으로 건조시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전착법을 이용한 백금박막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 단계 3의 전압 인가는 0 내지 40 ℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 전착법을 이용한 백금박막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 단계 3에서 인가되는 전압은 -0
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제 1항에 있어서, 상기 단계 1의 클로로플라티닉산의 농도는 0
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제 1항에 있어서, 상기 지지체의 재질은 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 몰리브덴(Mo), 카드뮴(Cd), 금(Gold), 인듐-주석-산화물(ITO)이 코팅된 유리, 스테인레스 스틸(stainless steel) 및 탄소기판으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전착법을 이용한 백금박막의 제조방법
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제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항의 방법으로 전착된 백금박막
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제 9항에 있어서, 상기 전착된 백금박막은 미세 육방결정구조를 갖는 것을 특징으로 하는 백금박막
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제 9항에 있어서, 상기 전착된 백금박막은 100 내지 150 nm의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 백금박막
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제 9항에 있어서, 상기 전착된 백금박막의 백금 입자는 100 nm 이하의 입자크기를 갖는 것을 특징으로 하는 백금박막
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