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복합물성 박막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015121669
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 복합물성 박막의 제조방법은 제1 증착조건에서 제1 방향의 텍스처를 갖는 박막을 성장시키는 단계 및 제1 증착조건과 다른 제2 증착조건에서 박막 표면에 제2 방향의 성장면을 성장시키는 단계를 포함하며, 텍스처의 제1 방향과 성장면의 제2 방향을 독립적으로 제어하여 박막의 물성을 최적화하여 용도에 적합한 박막을 생성할 수 있다.
Int. CL C23C 16/22 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01)
CPC C23C 16/54(2013.01) C23C 16/54(2013.01) C23C 16/54(2013.01) C23C 16/54(2013.01)
출원번호/일자 1020120000491 (2012.01.03)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0079787 (2013.07.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.03)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백영준 대한민국 서울 용산구
2 정증현 대한민국 서울 관악구
3 박종극 대한민국 서울 서초구
4 김원목 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0005447-63
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.01.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.03.14 수리 (Accepted) 9-1-2013-0019331-36
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0456177-77
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0764710-58
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0764711-04
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0035177-04
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0344642-93
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 증착조건에서 제1 방향의 텍스처를 갖는 박막을 성장시키는 단계; 및상기 제1 증착조건과 다른 제2 증착조건에서 상기 박막 표면에 제2 방향의 성장면을 성장시키는 단계를 포함하며, 상기 텍스처의 제1 방향과 상기 성장면의 제2 방향을 독립적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 복합물성 박막의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 박막 표면에 제2 방향의 성장면을 성장시키는 단계는, 상기 제1 방향의 텍스처를 유지하는 것을 특징으로 하는 복합물성 박막의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 제2 증착조건은, 증착온도, 증착압력, 기체조성 및 이종원소 첨가 중 적어도 하나가 상기 제1 증착조건과 다른 것을 특징으로 하는 복합물성 박막의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 제2 증착조건을 2회 이상 변화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 복합물성 박막의 제조방법
5 5
제1항 내지 제4항의 어느 하나에 따른 제조방법에 의해 제조된 복합물성 박막
6 6
제5항에 있어서,제조된 박막은 다이아몬드 박막인 것을 특징으로 하는 복합물성 박막
7 7
제5항에 있어서,제조된 박막은 산화아연(ZnO) 박막인 것을 특징으로 하는 복합물성 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.