맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

펄스 플라즈마 특성 변수 측정용 진단 시스템 및 방법

  • 기술번호 : KST2015121683
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공조 내의 플라즈마 특성 변수를 얻기 위하여 필요한 전류(I)-전압(V) 곡선을 측정하기 위해 사용하는 장치로서 더욱 상세하게는 시간에 따라서 변하는 펄스 플라즈마에서 진공조 내의 시간에 따른 플라즈마의 변수들을 얻을 수 있도록 랩뷰(LabVIEW)를 사용해서 구성한 장치와 측정방법이 그 요지이다. 본 발명에서는 기존의 연속적인 플라즈마에서 전류-전압 곡선을 얻기 위하여 사용되었던 톱니파 또는 사인파의 전압 대신에 발생되는 펄스 플라즈마와 동기화(synchronization) 시킨 직류 전압을 랑뮤어 프로브(Langmuir probe)에 순차적으로 인가한 후 전류를 측정함으로써 각각의 시간에 따른 전류-전압 곡선을 얻을 수 있게 된다. 펄스 플라즈마, 랑뮤어 프로브, 랩뷰, 플라즈마 특성 변수 진단 시스템
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01J 37/32935(2013.01) H01J 37/32935(2013.01)
출원번호/일자 1020030064027 (2003.09.16)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0627752-0000 (2006.09.18)
공개번호/일자 10-2005-0027668 (2005.03.21) 문서열기
공고번호/일자 (20060926) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.09.10)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김영우 대한민국 경기도 안산시 상록구
2 한승희 대한민국 서울특별시노원구
3 이연희 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2003-0342152-59
2 출원심사청구서
Request for Examination		 2004.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2004-0411013-53
3 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.09.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0411003-07
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0044363-24
5 의견서
Written Opinion		 2006.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2006-0186624-96
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.03.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0186618-11
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2006.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0354165-28
8 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2006.08.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2006-0026330-55
9 등록결정서
Decision to grant		 2006.09.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0525630-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
랑뮤어 프로브를 이용한 펄스 플라즈마 특성 변수 측정 방법에 있어서,(a) 펄스 RF 전력 장치, 디지털 전압 발생장치 및 전류-전압 곡선 측정 시스템을 펄스 발생기를 통해서 동기화(synchronization)시키는 단계와,(b) 상기 펄스 발생기에 동기화된 상기 디지털 전압 발생장치에서 발생된 다수의 디지털 전압을 아날로그 전압으로 변경시켜 직류 전압을 발생시키는 단계와,(c) 펄스 발생기에 동기화된 전류-전압 측정 시스템에서 직류 전압을 증폭시키는 단계와,(d) 플라즈마 발생장치 내에 위치하는 상기 랑뮤어 프로브에 상기 증폭된 직류 전압을 인가한 후 상기 랑뮤어 프로브로 유입되는 전류 및 상기 랑뮤어 프로부에 인가되는 전압을 전류-전압 곡선 측정 시스템에서 측정하는 단계와,(e) 데이터 분석 시스템에서 동일한 시간에서 얻어진 각각의 전압과 전류를 추출하여 상기 증폭된 직류전압, 상기 전류 및 상기 랑뮤어 프로부에 인가되는 전압으로부터 전류-전압 특성 곡선을 만드는 단계를 포함하는 펄스 플라즈마 특성 변수 측정 방법
2 2
제 1 항에 있어서,펄스 RF 전력장치와 전류-전압 곡선 측정 시스템의 동기화를 데이터 취득 보드 상의 타이머를 사용하는 펄스 플라즈마 특성 변수 측정 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 펄스 플라즈마의 데이터를 분석할 수 있는 시간 간격 4㎲ 내지 100㎲인 펄스 플라즈마 특성 변수 측정 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 펄스 RF 전력장치에서 발생되는 RF 펄스는 펄스폭 10㎲ 내지 1000㎲, 펄스주파수 10Hz 내지 10kHz, 펄스파워 1kW 내지 100kW인 펄스 플라즈마 측정 방법
5 4
제 1 항에 있어서, 상기 펄스 RF 전력장치에서 발생되는 RF 펄스는 펄스폭 10㎲ 내지 1000㎲, 펄스주파수 10Hz 내지 10kHz, 펄스파워 1kW 내지 100kW인 펄스 플라즈마 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.