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Si-H 결합을 갖는 다음 화학식 1의 실란 화합물과 다음 화학식 2의 유기 할로겐 화합물을 3차 유기 포스핀 촉매 존재 하에 탈할로겐화수소 반응으로 결합시켜 다음 화학식 3의 화합물을 합성하는 방법: 화학식 1 HSiR1Cl2 화학식 2 R2CH2X 화학식 3 R3CH2SiR1Cl2 [상기 화학식 1 및 화학식 3에서, R1은 수소, 클로로 또는 메틸기; 화학식 2에서 X는 클로로 또는 브로모; 화학식 2 및 화학식 3에서 R2 및 R3는 탄소수 1 내지 17개의 알킬기, 플루오로가 1개 이상 치환된 탄소수 1 내지 10개의 알킬기, 불포화 결합을 함유하는 탄소수 1 내지 5개의 알켄기, (CH2)nSiMe3-mClm으로 표시되는 알킬기 (이 때 n은 0 내지 2의 정수, m은 0 내지 3의 정수임), Ar(R')q로 표시되는 방향족기 (이 때 Ar은 탄소수 6 내지 14개의 방향족 탄화수소이고 R'은 탄소수 1 내지 4개의 알킬기, 할로겐, 알콕시, 또는 비닐이며, q는 0 내지 5의 정수임), (CH2)pX로 표시되는 할로알킬기 (이 때, p는 1 내지 9의 정수이고 X는 클로로 또는 브로모임), 또는 ArCH2X로 표시되는 할로메틸 방향족기 (이 때 Ar은 탄소수 6 내지 14개의 방향족 탄화수소이고 X는 클로로 또는 브로모임)이고, 단, 화학식 2의 R2가 (CH2)pX이거나 ArCH2X인 경우 화학식 3의 R3은 (CH2)pSiR1Cl2이거나 ArCH2SiR1Cl2가 될 수 있음]
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