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실세스퀴옥산 중합체 매트릭스를 전구체로 하여 제조된 저유전막으로서,상기 실세스퀴옥산 중합체 매트릭스는 Si가 3 내지 12개로 포함된 3 내지 12각형의 유기관능화-하이드록시 사이클로실록산인 다반응성 환형 실록산, 불소 실란 단량체 및 알콕시실란을 중합하여 제조된 실세스퀴옥산 졸(sol)이고,상기 불소 실란 단량체는 하기 화학식 1로 표현되는 것인 저유전막
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제 1 항에 있어서,상기 유기관능화 그룹은 탄소수가 1 내지 12인 N-알킬, iso-알킬, 아릴, 비닐, N-알킬 치환 또는 비치환된 지방족 유기관능기, 아민기, 아크릴기, 할로겐류 및 이의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 저유전막
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제 1 항에 있어서, 상기 불소 실란 단량체는 다반응성 환형 실록산 및 알콕시실란의 총 량에 대하여 5 내지 30mol%로 포함되는 것을 특징으로 하는 저유전막
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제 1 항에 있어서, 상기 알콕시실란은 하기 화학식 2 내지 4로 표현되는 것을 특징으로 하는 저유전막
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제 1 항에 있어서, 상기 환형 실록산과 알콕시실란의 몰비는 1:9 내지 9:1 범위 내에서 조절하여 제조하는 것을 특징으로 하는 저유전막
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제 1 항에 있어서, 상기 실세스퀴옥산 졸의 중량평균분자량은 1,000 내지 100,000인 것을 특징으로 하는 저유전막
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Si가 3 내지 12개로 포함된 3 내지 12각형의 유기관능화-하이드록시 사이클로실록산인 다반응성 환형 실록산, 불소 실란 단량체 및 알콕시실란을 모노머로 하여 졸겔법에 의해 실세스퀴옥산 졸을 제조하는 단계;상기 실세스퀴옥산 졸 및 용매를 포함하는 코팅액을 제조하는 단계; 및 상기 코팅액을 기판 상에 도포 및 경화하는 단계를 포함하고,상기 불소 실란 단량체는 하기 화학식 1로 표현되는 것인 저유전막의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 다반응성 환형 실록산은 트란스, 랜덤, 트위스트 및 이들의 혼합물을 포함하는 군에서 선택된 하나 이상의 입체 이성질체를 포함하는 것을 특징으로 하는 저유전막의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 불소 실란 단량체는 다반응성 환형 실록산 및 알콕시실란의 총 량에 대하여 5 내지 30mol%로 포함되는 것을 특징으로 하는 저유전막의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 알콕시실란은 하기 화학식 2 내지 4로 표현되는 것을 특징으로 하는 저유전막의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 환형 실록산과 알콕시실란의 몰비는 1:9 내지 9:1 범위 내에서 조절하여 제조하는 것을 특징으로 하는 저유전막의 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 제조방법은 실세스퀴옥산 졸을 제조하는 단계 이후 실세스퀴옥산 졸을 용매로 추출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저유전막의 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 코팅액 중 고형분의 함량은 코팅액 총 중량을 기준으로 0
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제 9 항에 있어서,상기 코팅액은 스핀코팅에 의해 기판상에 도포되는 것을 특징으로 하는 저유전막의 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 경화는 상온(25℃) 내지 750℃의 온도에서 30분 내지 3시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 저유전막의 제조방법
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