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기판, 상기 기판 위에 위치하고, CrV를 포함하는 씨드층, 및상기 씨드층 위에 위치하고, 상호 이격되어 배열되며 FePt를 포함하는 복수의 박막층들을 포함하는 패턴드 미디어(patent media)
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제1항에 있어서,상기 복수의 박막층들의 평균 직경은 50nm 내지 100nm인 패턴드 미디어
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제1항에 있어서,상기 복수의 박막층들의 평균 높이는 7nm인 패턴드 미디어
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기판을 제공하는 단계,상기 기판 위에 CrV를 포함하는 씨드층을 제공하는 단계,상기 씨드층 위에 마스크층을 제공하는 단계,상기 마스크층을 패터닝 및 현상하여 상기 씨드층을 부분적으로 외부 노출시키는 단계,상기 마스크층과 상기 외부 노출된 씨드층 위에 FePt를 포함하는 박막층을 증착하는 단계,상기 마스크층 위에 위치한 박막층과 상기 마스크층을 제거하는 단계, 및상기 박막층을 어닐링하는 단계를 포함하는 패턴드 미디어의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 박막층과 상기 마스크층을 제거하는 단계에서, 상기 박막층과 상기 마스크층은 리프트 오프(lift off)되어 제거되고, 외부 노출된 씨드층 위에 제공된 박막층이 잔존하는 패턴드 미디어의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 마스크층을 제공하는 단계에서, 상기 마스크층은 양의 전자빔 리지스트(Ebeam resist)인 패턴드 미디어의 제조 방법
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