요약 | 본 발명은 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV) 광원으로 만들어진 차세대 반도체 공정에서 사용되는 3차원 구조의 마스크 패턴에 존재하는 미세 결함(Defect) 등을 효과적으로 검사할 수 있도록 한 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.또한, 본 발명에 따르면, 광학요소들 예컨대, 광원부, 오목거울, 반사거울 및 CCD 카메라 등을 비평면 즉, 3차원 평면상에 서로 다른 위치로 배치함으로써, CCD 카메라와 측정대상 마스크의 거리를 기존의 현미경보다 더 가깝게 할 수 있으며, 보다 많은 차수의 회절광이 CCD 카메라에 입사하여 기존의 것에 비해 현미경의 분해능을 높일 수 있는 이점이 있다. |
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Int. CL | H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) |
CPC | H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020120017765 (2012.02.22) |
출원인 | 한국과학기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-1277698-0000 (2013.06.17) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20130621) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2012.02.22) |
심사청구항수 | 20 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국과학기술연구원 | 대한민국 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 전영민 | 대한민국 | 서울 강남구 |
2 | 장지웅 | 대한민국 | 경기 용인시 수지구 |
3 | 박민철 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 |
4 | 김선호 | 대한민국 | 서울 종로구 |
5 | 우덕하 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
6 | 이석 | 대한민국 | 서울 서초구 |
7 | 변영태 | 대한민국 | 경기 구리시 |
8 | 김재헌 | 대한민국 | 부산광역시 진구 |
9 | 이택진 | 대한민국 | 서울 양천구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 정태훈 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이) |
2 | 배성호 | 대한민국 | 경상북도 경산시 박물관로*길**, ***호(사동, 태화타워팰리스)(특허법인 티앤아이(경상북도분사무소)) |
3 | 오용수 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)(특허법인 티앤아이) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술연구원 | 서울특별시 성북구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.02.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0142073-15 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.01.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.02.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0008937-36 |
4 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.06.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0404324-30 |
5 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2013.11.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1025044-04 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사하는 광원부;상기 광원부로부터 방사된 극자외선을 반사하여 집광하는 오목거울;상기 오목거울에 의해 집광된 극자외선을 측정대상 마스크를 향하여 반사하는 반사거울;상기 측정대상 마스크를 안착시키는 스테이지;상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지를 획득하는 CCD(Charged Coupled Device) 카메라;상기 CCD 카메라의 입사측에 설치되며, 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지의 0차 회절광을 차단하는 차단부가 구비된 링 형태의 광 필터부;상기 광 필터부의 일측에 구비되며, 상기 광 필터부를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 3차원 이동시키기 위한 필터 이동수단; 및상기 CCD 카메라로부터 획득된 회절 이미지에서 0차 회절광의 위치와 상기 광 필터부에 구비된 차단부의 위치를 비교하여 서로 일치되도록 상기 필터 이동수단의 동작을 제어하기 위한 구동제어신호를 출력하며, 상기 광 필터부를 통해 0차 회절광이 차단된 회절 이미지를 역 고속 퓨리에 변환(Inverse Fast Fourier Transform, IFFT)을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원하는 제어장치를 포함하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
2 |
2 제1 항에 있어서,상기 광원부로부터 방사된 빛의 진행방향이 한 평면상에 위치되지 않도록 상기 광원부, 상기 오목거울, 상기 반사거울 및 상기 CCD 카메라는 3차원 평면상에 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
3 |
3 제1 항에 있어서,상기 CCD 카메라의 위치에 제1 레이저 빔을 방사하는 광학정렬용 레이저가 설치되고, 상기 광원부로부터 제2 레이저 빔이 방사되며, 공기 중에서 상기 제1 및 제2 레이저 빔이 공간적으로 완전히 겹쳐지도록 상기 오목거울 및 상기 반사거울을 광학 정렬하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
4 |
4 제3 항에 있어서,상기 제1 및 제2 레이저 빔은 각각 633nm 붉은 색 및 티타늄:사파이어(Ti:sapphire) 레이저 빔으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
5 |
5 극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사하는 광원부;상기 광원부로부터 방사된 극자외선을 반사하여 집광하는 제1 거울;상기 제1 거울에 의해 집광된 극자외선을 측정대상 마스크를 향하여 반사하는 제2 거울;상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지의 방향을 바꾸어 재반사하는 제3 거울;상기 측정대상 마스크를 안착시키는 스테이지;상기 제3 거울에 의해 재반사된 측정대상 마스크의 회절 이미지를 획득하는 CCD(Charged Coupled Device) 카메라;상기 CCD 카메라의 입사측에 설치되며, 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지의 0차 회절광을 차단하는 차단부가 구비된 링 형태의 광 필터부;상기 광 필터부의 일측에 구비되며, 상기 광 필터부를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 3차원 이동시키기 위한 필터 이동수단; 및상기 CCD 카메라로부터 획득된 회절 이미지에서 0차 회절광의 위치와 상기 광 필터부에 구비된 차단부의 위치를 비교하여 서로 일치되도록 상기 필터 이동수단의 동작을 제어하기 위한 구동제어신호를 출력하며, 상기 광 필터부를 통해 0차 회절광이 차단된 회절 이미지를 역 고속 퓨리에 변환(Inverse Fast Fourier Transform, IFFT)을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원하는 제어장치를 포함하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
6 |
6 제5 항에 있어서,상기 제3 거울은 오목거울 또는 반사거울로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
7 |
7 제5 항에 있어서,상기 광원부로부터 방사된 빛의 진행방향이 한 평면상에 위치되지 않도록 상기 광원부, 상기 제1 내지 제3 거울 및 상기 CCD 카메라는 3차원 평면상에 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
8 |
8 제5 항에 있어서,상기 CCD 카메라의 위치에 제1 레이저 빔을 방사하는 광학정렬용 레이저가 설치되고, 상기 광원부로부터 제2 레이저 빔이 방사되며, 공기 중에서 상기 제1 및 제2 레이저 빔이 공간적으로 완전히 겹쳐지도록 상기 제1 내지 제3 거울을 광학 정렬하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
9 |
9 제8 항에 있어서,상기 제1 및 제2 레이저 빔은 각각 633nm 붉은 색 및 티타늄:사파이어(Ti:sapphire) 레이저 빔으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
10 |
10 제1 항 또는 제5 항에 있어서,상기 스테이지의 일측에 구비되며, 상기 측정대상 마스크의 전체 이미지를 스캔할 수 있도록 상기 스테이지를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키기 위한 스테이지 이동수단; 및상기 측정대상 마스크의 3차원 높이 정보를 획득할 수 있도록 상기 스테이지의 X축 및 Y축 중 적어도 하나의 축을 기준으로 일정각도 좌/우측 방향으로 틸팅(tilting)시키기 위한 틸팅수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
11 |
11 제10 항에 있어서,상기 틸팅수단은, 복수의 피에조(Piezo) 봉을 이용하여 상기 스테이지를 좌/우측 방향으로 일정각도 틸팅하기 위한 수단으로서,상기 스테이지 이동수단이 상기 스테이지의 하부측에 설치된 상태에서 상기 스테이지 이동수단의 저면에 고정설치되는 제1 지지판;상기 제1 지지판의 하측방향으로 일정거리 이격되어 배치되는 제2 지지판; 및상기 제1 및 제2 지지판 사이의 양 끝단에 대칭되도록 구비된 적어도 한 쌍의 제1 및 제2 피에조 봉으로 이루어지며, 상기 제어장치로부터 출력된 구동제어신호에 의해 상기 제1 및 제2 피에조 봉의 높이가 서로 다르게 조절되어 상기 제1 지지판을 비롯하여 상기 스테이지 이동수단 및 상기 스테이지가 좌/우측 방향으로 일정각도 기울어지는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
12 |
12 제10 항에 있어서,상기 측정대상 마스크의 3차원 이미지를 획득하고자 하는 위치가 존재할 경우, 상기 제어장치는 구동제어신호를 상기 틸팅수단에 출력하여 상기 측정대상 마스크를 좌/우측 방향으로 틸팅시키고, 상기 측정대상 마스크의 좌/우 틸팅에 따른 좌/우 3차원 포인트 클라우드(Point Cloud)를 각각 연산한 후, 상기 연산된 각 좌/우 3차원 포인트 클라우드의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산하여 상기 측정대상 마스크에 대한 3차원 높이 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
13 |
13 제1 항 또는 제5 항에 있어서,상기 극자외선은 6nm 내지 14nm 범위의 파장대역으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 |
14 |
14 광원부, 오목거울, 반사거울, 스테이지에 안착된 측정대상 마스크, CCD(Charged Coupled Device) 카메라, 상기 CCD 카메라의 입사측에 장착된 광 필터부 및 제어장치를 포함하는 마스크 패턴 검사용 시스템을 이용하여 광선 자동차단 영상을 획득하는 방법에 있어서,(a) 상기 광원부를 통해 극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사한 후, 상기 오목거울을 통해 상기 방사된 극자외선을 반사하여 집광하는 단계;(b) 상기 반사거울을 통해 상기 집광된 극자외선을 상기 측정대상 마스크로 반사하는 단계;(c) 상기 광 필터부를 통해 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지의 0차 회절광을 차단하는 단계;(d) 상기 CCD 카메라를 통해 상기 단계(c)에서 0차 회절광이 차단된 회절 이미지를 획득하는 단계; 및(e) 상기 제어장치를 통해 상기 단계(d)에서 획득된 회절 이미지에 대해 역 고속 퓨리에 변환(Inverse Fast Fourier Transform, IFFT)을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 방법 |
15 |
15 제14 항에 있어서,상기 단계(a) 이전에, 상기 광원부, 상기 오목거울 및 상기 반사거울을 거쳐 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지를 상기 CCD 카메라를 통해 획득한 후, 상기 단계(d) 이후에, 상기 제어장치를 통해 상기 획득된 회절 이미지에서 0차 회절광의 위치와 상기 광 필터부에 구비된 차단부의 위치를 비교하여 서로 일치되도록 피드백하여 상기 광 필터부의 일측에 설치되어 상기 광 필터부를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키기 위한 필터 이동수단의 동작을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 방법 |
16 |
16 제14 항에 있어서,상기 CCD 카메라의 위치에 제1 레이저 빔을 방사하는 광학정렬용 레이저를 설치하고, 상기 광원부로부터 제2 레이저 빔을 방사한 후, 공기 중에서 상기 제1 및 제2 레이저 빔이 공간적으로 완전히 겹쳐지도록 상기 오목거울 및 상기 반사거울을 광학 정렬하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 방법 |
17 |
17 광원부, 제1 내지 제3 거울, 스테이지에 안착된 측정대상 마스크, CCD(Charged Coupled Device) 카메라, 상기 CCD 카메라의 입사측에 장착된 광 필터부 및 제어장치를 포함하는 마스크 패턴 검사용 시스템을 이용하여 광선 자동차단 영상을 획득하는 방법에 있어서,(a') 상기 광원부를 통해 극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사한 후, 상기 제1 거울을 통해 상기 방사된 극자외선을 반사하여 집광하는 단계;(b') 상기 제2 거울을 통해 상기 집광된 극자외선을 상기 측정대상 마스크로 반사하는 단계;(c') 상기 제3 거울을 통해 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지의 방향을 바꾸어 재반사하는 단계;(d') 상기 광 필터부를 통해 상기 제3 거울로부터 재반사된 측정대상 마스크의 회절 이미지의 0차 회절광을 차단하는 단계;(e') 상기 CCD 카메라를 통해 상기 단계(d')에서 0차 회절광이 차단된 회절 이미지를 획득하는 단계; 및(f') 상기 제어장치를 통해 상기 단계(e')에서 획득된 회절 이미지에 대해 역 고속 퓨리에 변환(Inverse Fast Fourier Transform, IFFT)을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 방법 |
18 |
18 제17 항에 있어서,상기 단계(a') 이전에, 상기 광원부, 상기 제1 내지 제3 거울을 거쳐 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지를 상기 CCD 카메라를 통해 획득한 후, 상기 단계(e') 이후에, 상기 제어장치를 통해 상기 획득된 회절 이미지에서 0차 회절광의 위치와 상기 광 필터부에 구비된 차단부의 위치를 비교하여 서로 일치되도록 피드백하여 상기 광 필터부의 일측에 설치되어 상기 광 필터부를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키기 위한 필터 이동수단의 동작을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 방법 |
19 |
19 제17 항에 있어서,상기 CCD 카메라의 위치에 제1 레이저 빔을 방사하는 광학정렬용 레이저를 설치하고, 상기 광원부로부터 제2 레이저 빔을 방사한 후, 공기 중에서 상기 제1 및 제2 레이저 빔이 공간적으로 완전히 겹쳐지도록 상기 제1 내지 제3 거울을 광학 정렬하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 방법 |
20 |
20 제14 항 또는 제17 항에 있어서,상기 측정대상 마스크의 3차원 이미지를 획득하고자 하는 위치가 존재할 경우, 상기 제어장치를 통하여 별도로 구비된 틸팅수단에 의해 상기 측정대상 마스크를 좌/우측 방향으로 틸팅시키는 단계; 및상기 측정대상 마스크의 좌/우 틸팅에 따른 좌/우 3차원 포인트 클라우드(Point Cloud)를 각각 연산한 후, 상기 연산된 각 좌/우 3차원 포인트 클라우드의 공통 포인트를 통해 틸팅각도를 연산하여 상기 측정대상 마스크에 대한 3차원 높이 정보를 획득하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 지식경제부 | 선문대학교 산학협력단 | 전자정보디바이스산업원천기술개발사업 (5020010) | EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼 검사기술 개발 |
공개전문 정보가 없습니다 |
---|
특허 등록번호 | 10-1277698-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20120222 출원 번호 : 1020120017765 공고 연월일 : 20130621 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130613 청구범위의 항수 : 20 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 412,500 원 | 2013년 06월 18일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 336,000 원 | 2016년 06월 01일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 336,000 원 | 2017년 06월 01일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 240,000 원 | 2018년 04월 09일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 430,000 원 | 2019년 06월 03일 | 납입 |
제 8 년분 | 금 액 | 430,000 원 | 2020년 05월 25일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.02.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0142073-15 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.01.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2013.02.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0008937-36 |
4 | 등록결정서 | 2013.06.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0404324-30 |
5 | [출원서등 보정]보정서 | 2013.11.11 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1025044-04 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.19 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5022002-69 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1415131573 |
---|---|
세부과제번호 | 10039226 |
연구과제명 | EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티 전자빔 웨이퍼 검사기술 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201105~201602 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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