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자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015122350
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일측면에 따르면, 기판상에 액적성장으로 제1 금속방울을 형성하는 단계, 상기 형성된 제1금속방울 상에 제1비금속을 증착하는 단계 및 상기 증착된 제1비금속과 상기 제1금속방울이 자기조립하여 제1나노 화합물 결정을 형성하는 단계를 포함하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법이 개시된다.
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) G02B 1/11 (2006.01)
CPC G02B 1/113(2013.01) G02B 1/113(2013.01) G02B 1/113(2013.01)
출원번호/일자 1020130012165 (2013.02.04)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1429118-0000 (2014.08.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140814) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.04)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송진동 대한민국 서울특별시 성북구
2 이은혜 대한민국 서울 강남구
3 배민환 대한민국 충남 금산군
4 최원준 대한민국 서울 강북구
5 윤재진 대한민국 인천 부평구
6 한일기 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0100911-33
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0253249-40
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0541118-54
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.06.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0541119-00
6 등록결정서
Decision to grant		 2014.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0527506-84
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번호 청구항
1 1
기판 상에 액적성장으로 제1 금속방울을 형성하는 단계;상기 형성된 제1금속방울 상에 제1비금속을 증착하는 단계;상기 증착된 제1비금속과 상기 제1금속방울이 자기조립하여 제1나노 화합물 결정을 형성하는 단계;상기 제1나노 화합물 결정 상에 액적성장으로 제2금속방울을 형성하는 단계;상기 형성된 제2금속방울 상에 제2 비금속을 증착하는 단계; 및상기 증착된 제2 비금속과 상기 제2금속방울이 자기조립하여 제2 나노 화합물 결정을 형성하는 단계를 포함하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 제1금속방울은 갈륨, 인 및 알루미늄 중에서 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 제1비금속은 비소, 안티몬, 인 및 질소 중에서 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 기판 상에 액적성장으로 제1금속방울을 형성하는 단계는,상기 제1 금속방울의 성장온도를 조절하여 형성되는 제1금속방울의 높이 또는 종횡비를 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 기판 상에 액적성장으로 제1금속방울을 형성하는 단계는,상기 제1금속방울의 커버리지를 조절하여 형성되는 제1금속방울의 높이 또는 지름을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 기판 상에 액적성장으로 제1금속방울을 형성하는 단계는,상기 제1금속방울의 성장률을 조절하여 형성되는 금속방울의 밀도, 높이 및 종횡비 중 적어도 하나를 조절하는 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 형성된 제1금속방울 상에 제1비금속을 증착하는 단계는,상온에서 상기 제1금속방울 상에 제1비금속을 증착하되,상기 제1금속방울은 액체상태인 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 형성된 제1금속방울 상에 제1비금속을 증착하는 단계는,상기 제1나노 화합물 결정의 형태를 조절하도록 상기 기판의 온도, 상기 제1 비금속의 주입 시간 및 주입량을 조절하는 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
9 9
제8항에 있어서,상기 제1나노 화합물 결정의 형태는,거대 나노돔, 나노팁, 나노막대 및 나노고깔 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
10 10
제1항에 있어서,상기 기판은,N형 반도체 화합물층을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
11 11
제1항에 있어서,상기 제1나노 화합물 결정을 형성하는 단계는,상기 제1 금속방울의 밀도를 조절하여 상기 제1 나노 화합물 결정의 밀도를 조절하는 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
12 12
삭제
13 13
제1항에 있어서,상기 제1 나노 화합물 결정 상에 상기 제2 나노 화합물 결정이 형성되어 층을 이루는 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
14 14
제1항에 있어서,상기 제1 나노 화합물 결정과 상기 제2 나노 화합물 결정이 동일한 평면 상에 혼합된 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막 제조방법
15 15
기판; 및상기 기판상에 위치한 제1 나노 화합물 결정 및 제2 나노 화합물 결정을 포함하되,상기 제1 나노 화합물 결정 및 상기 제2 나노 화합물 결정은, 액적성장으로 형성된 금속방울과 비금속이 자기조립하여 형성되고, 상기 제1 나노 화합물 결정 상에 상기 제2 나노 화합물 결정이 형성되어 층을 이루는 것을 특징으로 하는 자기 조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막
16 16
제15항에 있어서,상기 금속방울은,갈륨, 인 및 알루미늄 중에서 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막
17 17
제15항에 있어서,상기 비금속은, 비소, 안티몬, 인, 및 질소 중에서 선택되는 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막
18 18
제15항에 있어서,상기 나노 화합물 결정의 형태는,거대 나노돔, 나노팁, 나노막대 및 나노고깔 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막
19 19
기판; 및상기 기판상에 위치한 제1 나노 화합물 결정 및 제2 나노 화합물 결정을 포함하되,상기 제1 나노 화합물 결정 및 상기 제2 나노 화합물 결정은, 액적성장으로 형성된 금속방울과 비금속이 자기조립하여 형성되고, 상기 제1 나노 화합물 결정과 상기 제2 나노 화합물 결정이 동일한 평면 상에 혼합된 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 자기 조립 나노 구조물을 이용한 반사 방지막
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1 US09190541 US 미국 FAMILY
2 US20140217441 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2014217441 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9190541 US 미국 DOCDBFAMILY
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