| 1 |
1
극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사하는 광원부;상기 광원부로부터 방사된 극자외선을 반사하여 집광하고, 집광된 극자외선을 측정대상 마스크로 향하도록 반사하는 광학모듈;상기 광학모듈을 통해 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지를 획득하는 CCD(Charged Coupled Device) 카메라;상기 CCD 카메라로부터 획득된 회절 이미지에 대한 영상 이진화를 통해 회절광의 빛 영역을 구분하고, 이진화된 각 회절광을 집합화한 후, 집합화된 회절광을 밝기 순으로 정렬하여 0차, -1차 및 1차 회절광 순으로 구분하는 이미지 처리모듈;상기 이미지 처리모듈로부터 구분된 0차, -1차 및 1차 회절광의 위치를 이용하여 0차 회절광이 이미지의 중심에 위치된 상태에서 각 회절광이 수평방향으로 나란히 정렬되도록 각 회절광의 위치에 따른 상대적인 CCD 카메라의 수평/수직 이동값과 회전값을 연산하고 이에 대응되는 구동제어신호를 출력하는 제어장치; 및상기 제어장치로부터 출력된 구동제어신호에 따라 상기 CCD 카메라를 수평/수직 이동하거나 회전시키는 카메라 구동모듈을 포함하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 시스템
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서,상기 이미지 처리모듈은, 영상 이진화를 통해 이진화된 영역의 0차, 1차 및 -1차 회절광을 구분하기 위하여, 인접한 화소에 모두 같은 라벨(Label)을 붙이고 연결되지 않은 다른 성분에 다른 라벨을 붙여 화소의 집합화를 수행하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 시스템
|
| 3 |
3
제1 항에 있어서,상기 제어장치는, 하기의 수학식 1에 의해 상기 CCD 카메라의 수평/수직 이동값(Tx/Ty)과 회전값(θz)을 연산하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 시스템
|
| 4 |
4
제1 항에 있어서,상기 이미지 처리모듈로부터 구분된 0차, -1차 및 1차 회절광의 위치를 저장하는 회절광 위치 저장모듈이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 시스템
|
| 5 |
5
제1 항에 있어서,상기 극자외선은 6nm 내지 14nm 범위의 파장대역으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 시스템
|
| 6 |
6
제1 항에 있어서,상기 측정대상 마스크는 극자외선 노광 방법에 의해 미세한 마스크 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 시스템
|
| 7 |
7
광원부, 광학모듈, CCD(Charged Coupled Device) 카메라, 이미지 처리모듈, 제어장치 및 카메라 구동모듈을 포함하는 마스크 패턴 검사용 시스템을 이용하여 카메라 영상을 정렬하는 방법으로서,(a) 상기 광원부에 의해 극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV)을 방사한 후, 상기 방사된 극자외선을 상기 광학모듈에 의해 반사하여 집광하고, 집광된 극자외선을 측정대상 마스크로 향하도록 반사하는 단계;(b) 상기 CCD 카메라를 통하여 상기 측정대상 마스크로부터 반사된 회절 이미지를 획득하는 단계;(c) 상기 이미지 처리모듈을 통해 상기 단계(b)에서 획득된 회절 이미지에 대한 영상 이진화를 통해 회절광의 빛 영역을 구분하고, 이진화된 각 회절광을 집합화한 후, 집합화된 회절광을 밝기 순으로 정렬하여 0차, -1차 및 1차 회절광 순으로 구분하는 단계;(d) 상기 제어장치를 통해 상기 단계(c)에서 구분된 0차, -1차 및 1차 회절광의 위치를 이용하여 0차 회절광이 이미지의 중심에 위치된 상태에서 각 회절광이 수평방향으로 나란히 정렬되도록 각 회절광의 위치에 따른 상대적인 CCD 카메라의 수평/수직 이동값과 회전값을 연산하고 이에 대응되는 구동제어신호를 출력하는 단계; 및(e) 상기 카메라 구동모듈을 통해 상기 단계(d)에서 출력된 구동제어신호에 따라 상기 CCD 카메라를 수평/수직 이동하거나 회전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 방법
|
| 8 |
8
제7 항에 있어서,상기 단계(c)에서, 상기 이미지 처리모듈은, 영상 이진화를 통해 이진화된 영역의 0차, 1차 및 -1차 회절광을 구분하기 위하여, 인접한 화소에 모두 같은 라벨(Label)을 붙이고 연결되지 않은 다른 성분에 다른 라벨을 붙여 화소의 집합화를 수행하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 방법
|
| 9 |
9
제7 항에 있어서,상기 단계(d)에서, 상기 제어장치는, 하기의 수학식 2에 의해 상기 CCD 카메라의 수평/수직 이동값(Tx/Ty)과 회전값(θz)을 연산하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 방법
|
| 10 |
10
제7 항에 있어서,상기 단계(c) 이후에, 상기 이미지 처리모듈을 통해 구분된 0차, -1차 및 1차 회절광의 위치를 별도의 회절광 위치 저장모듈에 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 패턴 검사용 카메라 영상 정렬 방법
|
