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기초 판(51)과, 상기 기초 판(51) 위로 돌출되는 복수의 마이크로 렌즈(52)를 포함하는 마이크로 렌즈 어레이(50)를 제조하기 위한 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법으로서, 상기 복수의 마이크로 렌즈(52)의 위치에 대응하는 위치에 복수의 캐비티(11)가 구비된 제1 기판(10)에 형성하는 단계; 중앙에 상기 기초 판(51)의 면적만큼을 제외한 나머지 테두리 부분을 따라 질화물층(12)을 상기 제1 기판(10)의 배면에 도포하는 단계;상기 제1 기판(10)보다 녹는점이 낮은 제2 기판(20)을 형성하는 단계;상기 제2 기판(20)을 상기 제1 기판(10) 위에 접합하여 상기 복수의 캐비티(11)를 폐쇄하는 단계;서로 접합된 상기 제1 기판(10)과 상기 제2 기판(20)에 상기 제2 기판(20)의 녹는점 이상의 온도를 가하여, 상기 캐비티(11) 안에 포집된 공기가 부피 팽창함에 따라 상기 캐비티(11) 위에 위치한 상기 제2 기판(20)의 부분이 볼록하게 부풀어올라 상기 마이크로 렌즈(52)의 형상에 대응하는 돔(21)을 형성하도록 하는 단계;상기 돔(21)의 배면에 형성된 개구가 외부로 개방되도록 상기 제1 기판(10)의 적어도 일부를 제거하여 주형을 형성하는 단계;상기 주형에 용융된 상기 마이크로 렌즈 어레이(50)의 재료를 부어 경화시킴으로써 상기 마이크로 렌즈 어레이(50)를 형성하는 단계를 포함하고,상기 제1 기판(10)의 적어도 일부를 제거하여 주형을 형성하는 단계는 습식 이방성 식각 공정에 의해 수행되며,상기 질화물층(12)은, 질화물이 도포된 부분이 상기 식각 공정에 의해 상기 제1 기판(10)이 식각되지 않도록 하는 마스크층인 것을 특징으로 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제1항에 있어서,상기 서로 접합된 상기 제1 기판(10)과 상기 제2 기판(20)에 가하는 온도를 조절하여, 형성되는 상기 돔(21)의 높이를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제1항에 있어서,상기 캐비티(11)의 깊이를 조절하여, 형성되는 상기 돔(21)의 높이 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제1항에 있어서,상기 서로 접합된 상기 제1 기판(10)과 상기 제2 기판(20) 주위의 압력을 조절하여, 형성되는 상기 돔(21)의 높이를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복수의 캐비티(11)는, 적어도 하나의 캐비티(11)로 이루어진 복수의 군으로 구분되고, 상기 캐비티(11)는 상기 제1기판(10)을 위에서 보았을 때 그 단면의 형상 또는 직경이 각 군마다 상이한 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제5항에 있어서,상기 직경은 50 마이크로미터 내지 1 밀리미터인 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복수의 캐비티(11)는, 적어도 하나의 캐비티(11)로 이루어진 복수의 군으로 구분되고, 상기 캐비티(11)는 그 깊이가 각 군마다 상이한 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복수의 캐비티(11)는, 적어도 하나의 캐비티(11)로 이루어진 복수의 군으로 구분되고, 서로 인접하는 두 캐비티(11) 간의 거리는 각 군마다 상이한 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1 기판(10)은 실리콘으로 형성되고, 상기 제2 기판(20)은 유리로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1 기판(10)과 상기 제2 기판(20)은 양극 접합에 의해 접합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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제1항에 있어서,상기 캐비티(11)는 깊이 반응성 이온 식각에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조방법
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