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기판(substrate)의 상부 표면을 테플론(Teflon)을 이용하여 표면 처리하는 단계;표면 처리된 기판의 상부면에 마이크로 플로우 패터닝(microflow patterning) 기법을 이용하여 선택적 이온투과막을 형성하는 단계; 상기 선택적 이온투과막의 표면에 옥사이드(oxide)를 증착하여 유전층을 형성하는 단계;상기 증착된 옥사이드의 표면에 금속막(metal layer)을 형성하되, 상기 금속막은 상기 선택적 이온투과막 패턴이 형성되지 않은 상기 기판의 양쪽 측면까지 연장되어 양 끝단에서 각각 전극(electrode) 패턴이 형성되도록 하는 금속막 패턴 형성 단계;상기 선택적 이온투과막, 유전층 및 금속막이 형성된 상기 기판의 상부면에 PDMS(polydimethylsiloxane)를 부어서 상기 기판의 상부면으로 PDMS 몰드(mold)를 형성하는 단계;상기 기판과 상기 PDMS 몰드를 분리하여, 상기 분리된 PDMS 몰드 내부에 표면으로부터 순차적으로 상기 선택적 이온투과막, 유전층 및 금속막이 포함되는 제1 PDMS 층을 형성하는 단계; 및상기 선택적 이온투과막이 노출되는 상기 제1 PDMS 층의 상부면에 마이크로 채널이 형성된 제2 PDMS 층을 본딩(bonding)하는 단계;를 포함하며, 상기 제1 PDMS 층과 상기 제2 PDMS 층이 접하는 경계면에서는 상기 제1 PDMS 층에 포함된 상기 선택적 이온투과막과 상기 제2 PDMS 층에 포함된 상기 마이크로 채널이 상호 교접하며, 상기 금속막의 전극 패턴은 상기 제1 PDMS 층과 상기 제2 PDMS 층이 접하는 경계면 외부로 노출되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 기판은 글래스 기판, PC(polycarbonate) 또는 PDMS(polydimethylsiloxane) 플라스틱 기판 또는 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 선택적 이온투과막은 나피온(nafion)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 선택적 이온투과막은 나피온(nafion), polystyrene sulfonate (PSS) 또는 polyallylamine hydrochloride(PAH)로 형성되며, 상기 기판상으로 돌출되는 상기 이온투과막의 두께는 상기 제2 PDMS 층의 마이크로 채널의 높이의 5% 이내이거나 또는 100nm 내지 100μm 이내인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 마이크로 채널의 양끝단에는 각각 레저버(reservoir)가 형성되며, 상기 레저버는 외부 전원과 연결할 수 있는 와이어 또는 박막전극이 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 선택적 이온투과막은 나노채널(nanochannel)의 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 금속막의 전극을 통해서 전하를 공급 또는 제거함으로써, 상기 선택적 이온투과막을 통과하는 이온의 양을 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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기판(substrate)의 상부 표면을 테플론(Teflon)을 이용하여 표면 처리하는 단계;표면 처리된 기판의 상부면에 마이크로 플로우 패터닝(microflow patterning) 기법을 이용하여 선택적 이온투과막을 형성하는 단계; 상기 선택적 이온투과막의 표면에 금속막(metal layer)을 형성하되, 상기 금속막은 상기 선택적 이온투과막 패턴이 형성되지 않은 상기 기판의 양쪽 측면까지 연장되어 양 끝단에서 각각 전극(electrode) 패턴이 형성되도록 하는 금속막 패턴 형성 단계;상기 선택적 이온투과막 및 금속막이 형성된 상기 기판의 상부면에 PDMS(polydimethylsiloxane)를 부어서 상기 기판의 상부면으로 PDMS 몰드(mold)를 형성하는 단계;상기 기판과 상기 PDMS 몰드를 분리하여, 상기 분리된 PDMS 몰드 내부에 표면으로부터 순차적으로 상기 선택적 이온투과막 및 금속막이 포함되는 제1 PDMS 층을 형성하는 단계; 및상기 선택적 이온투과막이 노출되는 상기 제1 PDMS 층의 상부면에 마이크로 채널이 형성된 제2 PDMS 층을 본딩(bonding)하는 단계;를 포함하며, 상기 제1 PDMS 층과 상기 제2 PDMS 층이 접하는 경계면에서는 상기 제1 PDMS 층에 포함된 상기 선택적 이온투과막과 상기 제2 PDMS 층에 포함된 상기 마이크로 채널이 상호 교접하며, 상기 금속막의 전극 패턴은 상기 제1 PDMS 층과 상기 제2 PDMS 층이 접하는 경계면 외부로 노출되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 기판은 글래스 기판, PC(polycarbonate) 또는 PDMS(polydimethylsiloxane) 플라스틱 기판 또는 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 선택적 이온투과막은 나피온(nafion)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 선택적 이온투과막은 나피온(nafion), polystyrene sulfonate (PSS) 또는 polyallylamine hydrochloride(PAH)로 형성되며, 상기 기판상으로 돌출되는 상기 이온투과막의 두께는 상기 제2 PDMS 층의 마이크로 채널의 높이의 5% 이내이거나 또는 100nm 내지 100μm 이내인 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 마이크로 채널의 양끝단에는 각각 레저버(reservoir)가 형성되며, 상기 레저버는 외부 전원과 연결할 수 있는 와이어 또는 박막전극이 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 선택적 이온투과막은 나노채널(nanochannel)의 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 금속막의 전극을 통해서 전하를 공급함으로써, 상기 선택적 이온투과막의 surface-potential 및 zeta-potential을 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자 제조 방법
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제7항 내지 제20항 중 어느 한 항의 방법을 통해서 제조된 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자
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선택적 이온투과막 패턴을 내부에 포함하는 제1 PDMS(polydimethylsiloxane)층과, 상기 제1 PDMS층의 상부에 접합되며 내부에 마이크로 채널을 포함하는 제2 PDMS층을 포함하며,상기 선택적 이온투과막은 상기 제1 PDMS층 상부 표면으로 노출되며, 상기 마이크로 채널은 상기 제2 PDMS층 하부 표면으로 노출되고, 상기 제1 PDMS 층과 상기 제2 PDMS 층이 접하는 경계면에서는 상기 제1 PDMS 층에 포함된 상기 선택적 이온투과막과 상기 제2 PDMS 층에 포함된 상기 마이크로 채널이 상호 교접하며,상기 제1 PDMS층은 상기 선택적 이온투과막의 하부에 금속막을 더 포함하며, 상기 금속막으로 전하가 공급 또는 제거될 수 있는 전극 패턴이 상기 제1 PDMS 층과 상기 제2 PDMS 층이 접하는 경계면 외부로 노출되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자
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제22항에 있어서,상기 선택적 이온투과막은 나피온(nafion), polystyrene sulfonate (PSS) 또는 polyallylamine hydrochloride(PAH)로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자
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제22항에 있어서,상기 마이크로 채널의 양끝단에는 각각 레저버(reservoir)가 형성되며, 상기 레저버는 외부 전원과 연결할 수 있는 와이어 또는 박막전극이 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자
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제22항에 있어서,상기 제1 PDMS층은 상기 선택적 이온투과막과 상기 금속막 사이에 옥사이드(oxide) 층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자
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제22항에 있어서, 상기 금속막의 전극 패턴을 통해서 전하를 공급 또는 제거함으로써, 상기 선택적 이온투과막을 통과하는 이온의 속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자
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제26항에 있어서, 상기 금속막의 전극 패턴을 통해서 전하를 공급 또는 제거함으로써, 상기 선택적 이온투과막을 통과하는 이온의 양을 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 유체 기반 표면전하 제어형 단백질 농축 소자
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