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규소, 규소 산화물 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 박막이, 유리 표면의 전부 또는 일부에 형성된 증착유리를 제조하는 제1단계;상기 증착유리의 박막이 형성된 표면에 선택적 식각 처리를 하여 상기 증착유리 표면의 전부 또는 일부가 침상 또는 기둥 형상의 나노 돌기들을 가지는 식각유리를 제조하는 제2단계; 그리고상기 나노 돌기들을 가지는 식각유리의 표면에 소수성 코팅층을 형성하여 저반사성 초소수 또는 초발수 유리를 제조하는 제3단계;를 포함하며,상기 선택적 식각 처리는 반응성 가스를 이용한 플라즈마 식각 처리인 것인,저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 나노 돌기들은 높이가 10 내지 500 nm인 상기 침상 또는 기둥 형상의 나노 돌기들을 포함하는, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 나노 돌기들은 1 내지 20의 고종횡비를 가지는 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1단계에서 박막은, 스퍼터링(sputtering), 플라즈마화학증착(PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), 전자빔 증착(e-beam evaporation) 및 열증착(thermal evaporation)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 공정에 의하여 형성되는 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1단계에서의 박막은 100 내지 1000 nm의 두께로 형성되는 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제2단계에서의 선택적 식각 처리는 식각 속도의 차이에서 기인하여 식각 깊이의 차이가 생기는 것인 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 반응성 가스는 CF4, CHF3, C2F6, C2Cl2F4, C3F8, C4F8, SF6 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 식각 처리는, 플라즈마 가속 전압이 -100 Vb 내지 -1000 Vb 이고, 플라즈마 식각 압력이 1 Pa 내지 10 Pa인 조건에서 수행되는 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 식각 처리는 10초 내지 90분의 처리 시간 동안 수행되는 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제3단계에서 형성되는 소수성 코팅층은 그 두께가 1 내지 100 nm인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제3단계에서의 소수성 코팅층은, 규소와 산소를 포함하는 탄화수소계 소수성 박막 또는 불소를 포함하는 탄화수소계 소수성 박막인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제3단계의 소수성 코팅층은, 플라즈마화학증착(PECVD, Plasma-enhanced chemical vapor deposition)을 이용하여 증착 되는 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 플라즈마화학증착은, 아르곤 가스 0 내지 30 부피% 및 헥사메틸다이실록세인(hexamethyldisiloxane, HMDSO) 가스 70 내지 100 부피%를 포함하는 전구체 가스를 이용하고, R
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유리의 표면에 침상 또는 기둥 형상의 나노 돌기들을 가지는 식각유리; 및 상기 식각유리의 표면 상에 위치하는 소수성 코팅층;을 포함하고,상기 나노 돌기들은 규소, 규소 산화물 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하며, 상기 식각유리는, 그 높이가 10 내지 500 nm인 나노 돌기들을 단위 면적(1 mm2)당 1 X 106 내지 1 X 107 개의 밀도로 포함하고, 상기 나노 돌기들은 높이가 400 내지 500 nm인 나노 돌기들과, 높이가 10 내지 200 nm인 나노 돌기들이 혼재하는 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리
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제15항에 있어서,상기 나노 돌기들은, 1 내지 20의 고종횡비를 가지는 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리
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제15항에 있어서,상기 저반사성 초소수 또는 초발수 유리는 반사율이 7% 이하인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리
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제15항에 있어서,상기 저반사성 초소수 또는 초발수 유리는, 수(水) 접촉각이 150도 이상이며 접촉각 이력이 10도 이하인 것인, 저반사성 초소수 또는 초발수 유리
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