| 1 |
1
SF6를 포함하는 폐가스에 함유되어 있는 이산화황(SO2) 및 수분을 제거하는 기체 전처리장치;상기 폐가스를 제 1 회수기체와 제 1 기타기체로 분리하는 제 1 분리막 모듈;상기 제 1 회수기체를 대상으로 제 2 회수기체와 제 2 기타기체로 분리하는 제 2 분리막 모듈;상기 제 1 분리막 모듈에 의해 분리된 제 1 기타기체를 저장하는 기타기체 저장탱크;상기 기타기체 저장탱크로부터 제 1 기타기체를 공급받아 SF6와 기타기체로 분리하는 제 3 분리막 모듈을 포함하여 이루어지며, 상기 제 1 회수기체, 제 2 회수기체는 각각 제 1 기타기체, 제 2 기타기체에 대비하여 SF6가 고농도로 포함된 기체인 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 기체 전처리장치는, 이웃하여 순차적으로 배치된 제 1 챔버 및 제 2 챔버와, 상기 제 1 챔버 내에 충전된 수분 제거물질과, 상기 제 2 챔버 내에 충전된 SO2 제거물질과, 상기 제 2 챔버의 둘레에 구비되어 상기 SO2 제거물질의 온도를 조절하는 가열수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 수분 제거물질은 미립자의 제올라이트, 실리카, 몰리큘라 시이브 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
|
| 4 |
4
제 2 항에 있어서, 상기 SO2 제거물질은 금속산화물(MO), 제올라이트 중 어느 하나 또는 이들의 혼합물이며, 상기 M은 2족 금속인 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 분리막 모듈은 상기 제 2 분리막 모듈에 대비하여 투과도가 상대적으로 높은 재질로 구성되며, 상기 제 2 분리막 모듈은 상기 제 1 분리막 모듈에 대비하여 SF6 선택도가 높은 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 분리막 모듈은 폴리카보네이트 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 분리막 모듈, 제 2 분리막 모듈, 제 3 분리막 모듈 각각은 항온유지장치 내에 구비되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서, 상기 항온유지장치는 제 1, 제 2, 제 3 분리막 모듈의 장착 공간을 제공함과 함께 제 1, 제 2, 제 3 분리막 모듈의 온도를 일정하게 유지하며, 상기 항온유지장치는 20～150℃의 온도범위 내에서 조절되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서, 상기 기체 전처리장치의 전단 또는 기체 전처리장치와 제 1 분리막 모듈 사이에 폐가스 안정화탱크가 더 구비되며, 상기 폐가스 안정화탱크는 폐가스 내의 SF6 농도를 일정하게 유지하며, 폐가스 안정화탱크의 온도 조절을 통해 폐가스 내의 SF6 농도를 선택적으로 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수장치
|
| 10 |
10
기체 전처리장치, 제 1 내지 제 3 분리막 모듈을 포함하여 구성된 SF6 분리회수장치를 이용한 SF6 분리회수방법에 있어서, 상기 기체 전처리장치에 의해 SF6를 포함하는 폐가스에 함유되어 있는 이산화황 및 수분이 제거되는 단계; 상기 제 1 분리막 모듈에 의해 상기 폐가스가 003c#SF6가 포함된 제 1 회수기체003e#와 003c#제 1 기타기체003e#로 분리되고, 상기 제 1 기타기체가 기타기체 저장탱크에 저장되는 단계; 및 상기 제 1 회수기체가 상기 제 2 분리막 모듈에 의해 003c#SF6가 포함된 제 2 회수기체003e#와 003c#제 2 기타기체003e#로 분리되는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 기타기체 저장탱크에 저장된 제 1 기타기체는 제 3 분리막 모듈에 의해 SF6와 기타기체로 분리되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수방법
|
| 11 |
11
제 10 항에 있어서, 상기 기체 전처리장치는, 이웃하여 순차적으로 배치된 제 1 챔버 및 제 2 챔버와, 상기 제 1 챔버 내에 충전된 수분 제거물질과, 상기 제 2 챔버 내에 충전된 SO2 제거물질과, 상기 제 2 챔버의 둘레에 구비되어 상기 SO2 제거물질의 온도를 조절하는 가열수단을 포함하여 구성되며, 상기 폐가스는 상기 제 1 챔버와 제 2 챔버를 거치면서 이산화황 및 수분이 제거되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수방법
|
| 12 |
12
제 10 항에 있어서, 상기 기체 전처리장치의 전단 또는 기체 전처리장치와 제 1 분리막 모듈 사이에 폐가스 안정화탱크가 더 구비되며, 상기 폐가스 안정화탱크에 의해 폐가스 내의 SF6 농도를 일정하게 유지되며, 폐가스 안정화탱크의 온도 조절을 통해 폐가스 내의 SF6 농도를 선택적으로 조절되는 것을 특징으로 하는 SF6 분리회수방법
|
