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우선배향된 금속박막의 산화특성 측정방법

  • 기술번호 : KST2015122854
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 우선배향된 금속박막의 산화특성 측정방법에 관한 것으로, 종래에는 금속박막의 산화특성 측정시 측정시간이 많이 소요되는 문제가 있었다.본 발명은 측정대상 금속박막의 우선배향된 방향의 X선 피크가 반가폭을 측정하여 금속박막의 산화특성을 경험적으로 예측할 수 있도록 함으로써 측정방법이 간단하고, 측정이 신속하게 이루어지도록 한 것이다.이러한 본 발명의 이론적 배경은 진공증착법, 스파터링법, 화학기상성장법 등으로 성막된 금속박막이 금속조직학적으로 특정방향으로 우선배향된 미세조직을 갖게 되고, 이는 박막의 표면에너지를 낮추려는 경향에 기인한 것으로 통상의 금속박막에서 용이하게 관찰되며, 한편으로 금속박막의 부식은 입계면에서부터 시작되는데 이는 입계면이 다른 결정방향을 갖는 단결정의 계면으로 간주할 수 있어 이에 따라 입계면의 자유에너지가 높아지므로 입계면의 자유에너지가 이웃한 결정의 결정방향의 차가 클수록 커지기 때문에 금속박막 입계면의 결정방향 차를 X선 회절법으로 측정한다면 금속박막의 산화특성을 예측할 수 있다는 것에 근거한 것이다.
Int. CL G01N 23/20 (2006.01)
CPC G01N 23/20075(2013.01)
출원번호/일자 1019950036759 (1995.10.24)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0181216-0000 (1998.12.05)
공개번호/일자 10-1997-0022299 (1997.05.28) 문서열기
공고번호/일자 (19990515) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.10.24)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나종갑 대한민국 서울특별시도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1995.10.24 수리 (Accepted) 1-1-1995-0147504-63
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.10.24 수리 (Accepted) 1-1-1995-0147506-54
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.10.24 수리 (Accepted) 1-1-1995-0147505-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0077964-69
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1998.08.24 수리 (Accepted) 1-1-1995-0147507-00
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.09.24 수리 (Accepted) 1-1-1995-0147508-45
7 의견서
Written Opinion		 1998.09.24 수리 (Accepted) 1-1-1995-0147509-91
8 등록사정서
Decision to grant		 1998.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0467775-28
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

측정대상인 우선배향된 금속박막에 대한 X선 회절파 반가폭을 측정함으로써, 상기 금속박막의 산화특성을 예측하는 것을 특징으로 하는 금속박막 산화특성 측정방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 측정대상 금속박막이 아연증착 플라스틱 필름 콘덴서에 사용되는 아연증착 플라스틱 필름인 것을 특징으로 하는 금속박막 산화특성 측정방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 측정대상 금속박막이 자기기록용, 자기소자용 부품 내의 진공증착법, 스퍼터링법 및 화학기상 성장법에서 선택되는 하나의 방법에 의하여 성장된 금속박막인 것을 특징으로 하는 금속박막 산화특성 측정방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.