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미세 입자의 농도를 측정하는 미세 입자 측정 장치로서, 서브마이크론 크기의 입자의 분포를 측정하는 제1 입자 측정부와, 마이크론 크기의 입자의 분포를 측정하는 제2 입자 측정부와, 공기를 흡입하여 상기 제1 및 제2 입자 측정부로 분배하고 배출하는 흡입부와 배출부를 포함하고, 상기 제1 및 제2 입자 측정부에서 측정된 입자는 입자의 입경에 따른 부피의 대수 정규 분포도로 각각 환산되고, 상기 대수 정규 분포도는 중첩되어 단일 밀도를 갖는 구형 입자로 가정하여 질량농도로 환산되며,상기 제1 입자 측정부는, 측정하고자 하는 크기 영역의 입자를 분리하는 입자 분리 유닛, 분리된 입자를 대전시키는 하전 유닛, 하전된 입자의 통과를 제어하는 입자 제어 유닛, 및 통과가 제어된 입자의 하전량을 측정하는 하전량 측정 유닛을 포함하고,상기 입자 제어 유닛은, 간격이 점차 작아지도록 단계적으로 배치되어, 잔여 이온과 입자의 크기에 따라 입자들을 부착시키는 하나 이상의 트랩, 상기 트랩을 통과한 입자들을 내부에 형성된 필터에 부착시키는 패러데이 케이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 입자 측정부에서 측정하는 입자는 1
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제 1 항에 있어서,상기 흡입부는 측정하고자 하는 크기 영역보다 큰 입자를 제거하는 입자 제거 유닛과, 상기 제1 및 제2 입자 측정부로 각각 입자를 분배하는 분배 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제2 입자 측정부에서 측정하는 입자는 10 μm 이하의 입자인 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제2 입자 측정부에서 측정하는 입자는 2
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 제2 입자 측정부는, 광학계 모듈 또는 전기적 다단 임팩터인 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제2 입자 측정부는,상기 입자가 포함된 공기 내에서 광을 산란시키기 위한 광 산란 유닛,광을 발생시키는 광 유닛, 및산란된 광을 측정하는 광 센서 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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10
제 1 항에 있어서,상기 제2 입자 측정부에 의해 측정된 입자 분포는,하나 이상의 구간으로 나누어 측정되며, 각 구간의 산술 평균 입경 또는 기하 평균 입경을 대표값으로 한 대수 정규 분포 그래프로 환산되는 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 배출부는 공기 내에 포함된 입자를 제거하는 입자 필터와 공기를 외부로 배출하는 진공 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 입자 측정부에서 배출된 공기는 상기 제2 입자 측정부에 공급되어 보호 공기로서 유입되는 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 입자 측정부와 제2 입자 측정부에 연결되어, 질량농도에 관한 정보를 처리하는 정보 처리부를 더 포함하고,상기 정보 처리부는, 상기 제1 및 제2 입자 측정부로부터의 정보를 통하여 질량농도를 분석하는 정보 분석 유닛과 상기 질량농도에 대한 정보를 외부로 전송하는 무선 통신 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 입자 측정부와 제2 입자 측정부 사이에 형성된 제1 유량 조절 장치와 상기 배출부에 형성된 제2 유량 조절 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 장치
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제 1 항 내지 제 5 항, 및 제 8 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 따른 미세 입자 측정 장치로, 미세 입자의 농도를 측정하는 미세 입자 측정 방법으로서, 상기 제1 입자 측정부에서 서브마이크론 크기의 입자의 분포를 측정하여 대수 정규 분포도로 환산하는 단계;상기 제2 입자 측정부에서 마이크론 크기의 입자의 분포를 측정하여 대수 정규 분포도로 환산하는 단계; 및 상기 제1 입자 측정부와 제2 입자 측정부에서 환산된 대수 정규 분포도를 중첩하고, 단일 밀도를 갖는 구형 입자로 가정하여 질량농도를 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 입자 측정 방법
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